Comprendere il modello della struttura EUV e i calcoli
Distingui il modello didattico della struttura dai risultati del bilancio ottico e leggi le ipotesi di ciascuna vista.
La vista della struttura EUV e il calcolatore di vFactory rispondono a domande diverse. Entrambi sono disponibili su Cloud e nell’app Windows.
Struttura EUV e calcolo ottico
Distingui il modello didattico della struttura dai risultati del bilancio ottico e leggi le ipotesi di ciascuna vista.
Input
- 1. Ricostruzione · ipotesi: struttura pubblica, dimensioni ipotizzate
- 3. Input ottici
Modello / azione
- 2. Ricostruzione didattica
- 4. Calcola EUV
Risultati
- 5. Bilancio luminoso
- 6. Risposta ottica planare
- 7. Bilancio dei fotoni e rumore
Collegamenti
- 1. Ricostruzione · ipotesi: struttura pubblica, dimensioni ipotizzate → 2. Ricostruzione didattica: →
- 3. Input ottici → 4. Calcola EUV: →
- 4. Calcola EUV → 5. Bilancio luminoso: →
- 4. Calcola EUV → 6. Risposta ottica planare: →
- 4. Calcola EUV → 7. Bilancio dei fotoni e rumore: →
Usare vFactory: esplorare una fabbrica e seguire un progetto fino al wafer
Cosa mostra il modello della struttura
La vista interna in Fabbrica di riferimento mostra una ricostruzione didattica di uno scanner. Aiuta a seguire il percorso ottico e a identificare i componenti.
La geometria e la disposizione dei componenti del modello si basano su informazioni pubbliche e ipotesi. Scegli Fonti nella vista interna per leggere il materiale di riferimento.
Cosa calcola il bilancio ottico
Calcolo EUV usa i dati di sorgente, multistrato, dose, scansione e fotoni che fornisci. Calcola la potenza lungo il percorso ottico, la risposta ottica planare e i conteggi dei fotoni con varianza di Poisson ideale.
La modifica di un dato di ingresso cancella il risultato precedente. Ripeti il calcolo per ottenere un risultato con i nuovi dati.
Leggere le ipotesi insieme al risultato
Su Cloud, espandi Fonti e ipotesi per verificare la fonte o l’ipotesi di ciascun dato di ingresso. Su Windows, controlla l’etichetta accanto all’intervallo di ciascun dato di ingresso. Conserva i valori di ingresso insieme a ogni confronto tra calcoli.
Una vista della struttura spiega la disposizione del modello; un bilancio fornisce valori calcolati per i dati di ingresso. Leggi ciascuno con le rispettive ipotesi.
Il modello della struttura è una ricostruzione e i risultati dei calcoli dipendono dalle ipotesi fornite; non sono misure di uno scanner o di una fabbrica reali.