了解预览与运行

计算几何和良率

在 Cloud 或 Windows 2.1.2.3 中，打开 vFactory → 晶圆工艺与晶圆厂 → 从设计到晶圆。计算预览 和 运行从设计到晶圆仿真 是不同的操作。两者都使用设计源数据和表单中显示的值。

使用 导入 DDS / 流片源数据 导入源数据。在 Cloud 中，具备所需功能的项目在投影结构后，也可能在 GDS 查看器中提供 发送到 vFactory。此操作会在 从设计到晶圆 中打开设计，供您在运行前选择路径和批次数量。

选择 计算预览 以查看 300 mm 晶圆图和 几何与良率估算。预览会根据提供的假设值，计算裸片数、环境对缺陷密度的贡献和良率概率。晶圆图显示裸片矩形的几何形状。

运行批次仿真

选择 运行从设计到晶圆仿真 以运行参考晶圆厂批次仿真。在 Cloud 中，先选择 参考晶圆厂路径、批次数量 和 每批次晶圆数。在 Windows 2.1.2.3 中，请在运行前于表单中设置批次数量。

运行完成后，会添加 批次完成与交期，其中包含每批的状态和时间、已完成晶圆、预期良品裸片数和 整体交期。即使使用 Cloud，仿真也会在应用程序内本地执行。

导入的后段工艺步骤时间会计入交付时间。

查看摘要或跟随批次

已连接且提供可用工艺文件的源项目会保存完成的结果。已保存到项目： 显示已确认的路径。之后使用 打开已保存的结果 可恢复已保存的输入和摘要。

新的运行完成后，在 3D 晶圆厂中跟随批次 {lot} 会打开该次运行保留的事件。请使用已保存的摘要检查结果，并使用当前运行的回放跟随批次通过晶圆厂。

使用 vFactory：探索晶圆厂，跟随设计到晶圆的流程

在 vFactory 中打开参考晶圆厂

在 vFactory 中运行第一个工艺模型

参考晶圆厂使用合成的工艺假设值。结果为模型估计值。