Eseguire il primo modello di processo in vFactory

Apri i modelli di processo, controlla i dati di esempio, esegui il modello e leggi il risultato.

Modelli di processo si apre con un processo su wafer di esempio. Controlla i dati, esegui il modello e leggi il risultato calcolato.

Aprire i modelli di processo

  1. Apri il menu dei prodotti e scegli vFactory, poi Processo wafer e fabbricazione.

  2. Seleziona la scheda Modelli di processo.

  3. In Modello, lascia Processo del wafer. Il modulo parte dai dati di Esempio di strato planare.

Controllare i dati

  1. Esamina Coefficienti dei materiali, Strati iniziali dalla superficie e Sequenza del processo.

  2. La sequenza di esempio ha tre passaggi: Deposita film drogato, Ricottura degli strati e Incidi il film selettivamente.

  3. Apri Ipotesi e unità del modello per leggere le unità e l'ambito del modello.

La scheda Modelli di processo con Modello impostato su Processo del wafer. Ipotesi e unità del modello sono aperte, seguite da Coefficienti dei materiali per substrato e film, Strati iniziali dalla superficie e l'inizio di Sequenza del processo. Il riquadro dei risultati dice Ancora nessun risultato calcolato.

Prima della prima esecuzione, esamina le ipotesi e le unità dell'esempio, i coefficienti dei materiali e gli strati iniziali. Non è ancora mostrato alcun risultato.

Eseguire il modello

  1. Seleziona Esegui simulazione (il pulsante di riproduzione) nella barra degli strumenti.

  2. Mentre il modello è in esecuzione, lo stato mostra Calcolo del modello…. Per interrompere l'esecuzione, seleziona Annulla simulazione.

  3. Quando lo stato mostra Calcolo completato, il risultato compare accanto ai dati, con Logaritmo della concentrazione e Ispeziona fase del processo.

Modelli di processo dopo un'esecuzione. La barra di stato mostra Calcolo completato, e Provenienza dell'esecuzione del processo mostra l'esecuzione come completata. Risultati calcolati mostra la fase 3. Incidi il film selettivamente con il suo spessore, la dose e il conteggio delle celle, un grafico della concentrazione per profondità e la tabella Storico del processo e conservazione.

Dopo Calcolo completato, il risultato mostra la fase del processo selezionata, un profilo di concentrazione per profondità e lo storico del processo. Provenienza dell'esecuzione del processo mostra l'esecuzione come completata.

Se modifichi un dato dopo un'esecuzione, lo stato mostra Dati modificati. Seleziona di nuovo Esegui simulazione per aggiornare il risultato.

Modelli di processo dopo una modifica di un dato. Un avviso Dati modificati dice che il risultato visualizzato appartiene a un dato precedente e che devi eseguire il modello aggiornato per aggiornarlo. Il passaggio di diffusione Ricottura degli strati ora ha Durata (s) 60, e il risultato precedente resta a destra.

Il banner "Dati modificati" indica che il risultato a destra deriva dai dati precedenti finché non esegui di nuovo il modello.

Se l'esecuzione non si completa

La simulazione non è stata completata compare con un messaggio che spiega il problema. Segui le istruzioni del messaggio, poi esegui di nuovo il modello.

Esegui simulazione non è disponibile mentre è in corso un'esecuzione o un'operazione sui file del progetto.

Quando i file del progetto non sono disponibili, Esegui simulazione non può essere usato. Ricollega il progetto, poi esegui il modello.

Se compare Progetto cambiato, segui il suo messaggio: Apri un documento di processo del progetto o creane uno nuovo.

Salvare i dati e il risultato

  1. Salva dati salva i dati attuali come file JSON.

  2. Esporta risultati è disponibile dopo un'esecuzione e salva i dati insieme al risultato.

  3. Per provare poi un modello di fabbrica, scegli Simulazione della fabbrica in Modello. Parte dai dati di Esempio di fabbrica con percorsi rientranti.

Usare vFactory: esplorare una fabbrica e seguire un progetto fino al wafer

Gli input di esempio sono ipotesi sintetiche. I risultati simulano il modello fornito e non sono dati di produzione misurati.