Comprendere le stime della resa in vFactory

Leggi i valori di densità dei difetti e le probabilità dei tre modelli.

Densità dei difetti

In Cloud vFactory, “Stima della geometria e della resa” riunisce la geometria del wafer, le ipotesi sulla densità dei difetti e le probabilità di resa.

Comprendere le stime della resa in vFactory

Leggi i valori di densità dei difetti e le probabilità dei tre modelli.

Ipotesi del modello

  • 1. D0 utente (difetti/cm²) · Ipotesi
  • 2. D0 ambientale (difetti/cm²)
  • 4. Area del die (cm²)
  • 5. Coefficiente di raggruppamento α

D0 totale (difetti/cm²)

  • 3. D0 totale (difetti/cm²)

Probabilità di resa

  • 6. Probabilità di Poisson
  • 7. Probabilità di Murphy
  • 8. Probabilità binomiale negativa

Collegamenti

  • 1. D0 utente (difetti/cm²) · Ipotesi → 3. D0 totale (difetti/cm²): +
  • 2. D0 ambientale (difetti/cm²) → 3. D0 totale (difetti/cm²): +
  • 3. D0 totale (difetti/cm²) → 6. Probabilità di Poisson: D0
  • 3. D0 totale (difetti/cm²) → 7. Probabilità di Murphy: D0
  • 3. D0 totale (difetti/cm²) → 8. Probabilità binomiale negativa: D0
  • 4. Area del die (cm²) → 6. Probabilità di Poisson: A
  • 4. Area del die (cm²) → 7. Probabilità di Murphy: A
  • 4. Area del die (cm²) → 8. Probabilità binomiale negativa: A
  • 5. Coefficiente di raggruppamento α → 8. Probabilità binomiale negativa: α

“D0 utente (difetti/cm²) · Ipotesi” più “D0 ambientale (difetti/cm²)” dà “D0 totale (difetti/cm²)”. D0 è espresso in difetti/cm². Il contributo ambientale è calcolato dalle ipotesi della camera bianca.

Tre modelli

“Probabilità di Poisson”, “Probabilità di Murphy” e “Probabilità binomiale negativa” usano la stessa area del die in cm² e il D0 totale. Il modello binomiale negativo usa anche α per controllare il raggruppamento. Confronta le tre probabilità tenendo conto delle ipotesi.

vFactory

Le stime sono risultati di modelli basati sulle ipotesi dichiarate, non resa misurata, certificazione o previsione per una fabbrica reale.