Разберитесь в предварительном просмотре и запуске

Используйте предварительный просмотр для геометрии пластины и оценок выхода годных, а запуск — для завершения партий и поставки.

Рассчитайте геометрию и выход годных

В Cloud или Windows 2.1.2.3 откройте vFactory → Процессы и фабрика → От проекта к пластине. Рассчитать предварительный результат и Запустить моделирование от проекта к пластине — отдельные действия. Оба используют исходные данные проекта и значения, отображаемые в форме.

Предпросмотр и моделирование партии

Используйте предварительный просмотр для геометрии пластины и оценок выхода годных, а запуск — для завершения партий и поставки.

Входные данные

  • 1. Источник проекта и входные данные

Модель / действие

  • 2. Рассчитать предварительный результат
  • 3. Запустить моделирование от проекта к пластине

Результаты

  • 4. Оценка геометрии и выхода годных
  • 5. Завершение партий и поставка

Связи

  • 1. Источник проекта и входные данные → 2. Рассчитать предварительный результат: →
  • 1. Источник проекта и входные данные → 3. Запустить моделирование от проекта к пластине: →
  • 2. Рассчитать предварительный результат → 4. Оценка геометрии и выхода годных: →
  • 3. Запустить моделирование от проекта к пластине → 5. Завершение партий и поставка: →

Импортируйте исходные данные с помощью Импортировать исходные данные DDS / тейпаута. В Cloud проект с поддержкой этой возможности также может предлагать Отправить в vFactory в GDS-просмотрщике после построения проекции структуры. Это открывает её дизайн в От проекта к пластине, где перед запуском вы выбираете маршрут и объёмы партий.

Выберите Рассчитать предварительный результат, чтобы просмотреть карту пластины 300 mm и Оценка геометрии и выхода годных. Предварительный просмотр рассчитывает число кристаллов, вклад среды в плотность дефектов и вероятности выхода годных на основе заданных допущений. Карта показывает геометрию прямоугольников кристаллов.

Запустите моделирование партий

Выберите Запустить моделирование от проекта к пластине, чтобы выполнить моделирование партий на эталонной фабрике. В Cloud сначала выберите Маршрут эталонной фабрики, Количество партий и Пластин в партии. В Windows 2.1.2.3 перед запуском задайте объёмы партий в форме.

Завершённый запуск добавляет Завершение партий и поставка, включая состояние и временные показатели каждой партии, Обработанные пластины, ожидаемое число годных кристаллов и Общий срок поставки. Моделирование выполняется локально в приложении, в том числе при использовании Cloud.

Импортированные длительности бэкенд-этапов учитываются во времени поставки.

Прочитайте сводку или проследите за партией

Подключённый исходный проект с доступными файлами процессов сохраняет завершённый результат. Сохранено в проекте: показывает подтверждённый путь. Открыть сохранённый результат позднее восстанавливает сохранённые входные данные и сводку.

После нового запуска Сопровождать партию {lot} на 3D-фабрике открывает события, сохранённые для этого запуска. Используйте сохранённую сводку для проверки результатов, а воспроизведение текущего запуска — для наблюдения за прохождением партии через фабрику.

Работа с vFactory: исследуйте фабрику и проследите путь от проекта до пластины

Откройте эталонную фабрику в vFactory

Запустите первую модель процесса в vFactory

Эталонная фабрика использует синтетические допущения о процессе. Результаты являются оценками модели.