Parametri del ritaglio EUV
Consulti i valori predefiniti di pianificazione del ritaglio e i valori delle richieste ottiche per l’imaging EUV locale.
Questa guida di riferimento si applica a vFactory in Cloud 2.1.2.10 e Windows 2.1.2.3.
Ritaglio EUV imposta l’imaging locale della geometria GDS importata. La geometria e i tagli usano nm sulla maschera. Fornisca parametri ottici espliciti per l’imaging locale.
Pianificazione del ritaglio
Il pianificatore arrotonda l’alone per eccesso a un intervallo intero della griglia raster. Un’esecuzione accetta fino a 64 tasselli.
Campo | Valore iniziale dopo l’importazione |
|---|---|
Livello e tipo di dati | Lo strato del primo poligono importato. |
X della regione (nm sulla maschera), Y della regione (nm sulla maschera) | X e Y minimi del primo poligono importato. |
Larghezza della regione (nm sulla maschera), Altezza della regione (nm sulla maschera) | L’estensione del primo poligono, limitata a 4–512 nm su ogni asse. |
Risoluzione raster (nm sulla maschera) | 4 |
Alone (nm sulla maschera) | 32 |
Dimensione del riquadro (nm sulla maschera) | 512 |
Richiesta ottica
Gli intervalli seguenti sono i valori mostrati dagli ingressi numerici. I valori di defocus sono numeri finiti distinti separati da virgole.
Campo | Valore iniziale; valori di ingresso |
|---|---|
Lunghezza d’onda (nm) | 13,5; da 0,001 |
Apertura numerica | 0,33; 0,001–0,55 |
Oscuramento | 0; 0–0,999 |
Sorgente di illuminazione | Convenzionale; Convenzionale, Anulare, Dipolo, Quadrupolo, Sorgente a pixel |
Elenco delle sfocature (nm) | 0; 1–32 valori |
Soglia (Iref = 1) | 0,5; da 0,001 |
Larghezza della griglia di uscita, Altezza della griglia di uscita | 64 ciascuno; numeri interi da 2 a 512 |
Impostazioni ottiche avanzate
Dati ottici espliciti (JSON) contiene stack, absorber, chiefRayDeg, polarization, transport e reflectionPlaneNm. L’indice del mezzo ambiente è {re: 1, im: 0}; la polarizzazione è x o y; il trasporto è ideal-vector-v1 o euvlitho-vector-v1.
Polinomi di Zernike (JSON) accetta fino a 37 termini con indici di Noll distinti da 1 a 37 e coefficientWaves in lunghezze d’onda. Punti della sorgente a pixel (JSON) accetta 1–256 punti nella pupilla unitaria, con pesi non negativi e un totale positivo.
Parametri numerici (JSON; null usa il valore del motore) accetta null, oppure refinements di 2 o 3 con una method facoltativa di abbe, hopkins o socs. Campionamento maschera (JSON; null usa il valore del motore) accetta null, campionamento continuo o campionamento a pixel con larghezza e altezza intere da 1 a 8192.
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