Привязка рассчитанного результата прибора к пластине DUV
Импортируйте и проверьте запись рассчитанного результата MOS- или PN-прибора, затем привяжите её к текущей пластине DUV. Эти действия применимы к Cloud 2.1.2.10 и Windows 2.1.2.3.
Импорт записи результата
В vFactory откройте Модели процессов > Связь процессов DUV и выберите Запустить сегмент DUV.
Дождитесь Расчёт завершён, затем выберите Импорт записи рассчитанного прибора и укажите файл JSON с записью результата.
Приложение проверяет целостность файла и сверяет проект, ревизию источника, входные данные и результат пластины, модель прибора и выбранное окно глубины с текущим процессом.
Проверка и привязка
Проверьте Результаты приборов связанной пластины, включая тип прибора, идентификатор пластины, окно глубины и рассчитанные значения.
Выберите Привязать результат прибора, чтобы привязать проверенную запись результата, или Сохранить текущие результаты пластины, чтобы закрыть ожидающую подтверждения запись и оставить текущие результаты.
Откройте Источник прибора и ограничения модели, чтобы проверить ревизию источника, идентичность расчётного движка и хеши входных данных и результата.