Рассчитать оптический и фотонный баланс EUV
Сравните входные данные и результаты модели в расчёте EUV в Cloud 2.1.2.10 или Windows 2.1.2.3.
Выполнить расчёт
Откройте Расчёт EUV в vFactory и выберите набор параметров источника.
Проверьте Многослойная Mo/Si с покрытием Ru, Допущения о дозе и сканировании и Допущения о фотонах. Значения должны оставаться в указанных диапазонах.
Выберите Рассчитать EUV.
Входные данные многослойного покрытия задают модель отражательной способности. После расчёта Плоский оптический отклик строит отражение для s-поляризации и p-поляризации в зависимости от длины волны.
Прочитать результаты
Баланс мощности света показывает мощность по этапам, дозу, скорость сканирования и число пластин в час.
Плоский оптический отклик показывает отражение s и p в зависимости от длины волны и угла, а также R / T / A при 13.5 нм. Откройте Таблица данных по длине волны или Таблица данных по углу для точных значений.
Баланс фотонов и шум показывает энергию фотонов, средние количества и идеальную пуассоновскую дисперсию. Сопоставьте результаты с Источники и допущения.
Баланс фотонов и шум сравнивает числа падающих и поглощённых фотонов с их идеальной пуассоновской дисперсией при 13.5 nm.
Это результаты модели на основе допущений, а не измеренная производительность оборудования или прогноз для реальной фабрики. При изменении длины волны оптические показатели для 13.5 нм остаются постоянными; идеальная пуассоновская статистика не предсказывает дефекты резиста или выход годных.