Приостановка и возобновление этапов DUV
Создайте контрольную точку после каждого завершённого планарного этапа DUV, приостановите выполнение на границе этапов и продолжите со следующего этапа. Эти действия применимы к Cloud 2.1.2.10 и Windows 2.1.2.3.
Запуск поэтапного выполнения
В vFactory откройте Модели процессов, затем выберите Связь процессов DUV.
Используйте планарный процесс с этапами осаждения, диффузии, плавного изменения температуры или травления. Откройте Другие действия и выберите Запустить с контрольными точками этапов. Контрольная точка фиксирует каждый завершённый этап.
Приостановка и продолжение
В Cloud выберите Приостановить после этапа рядом с индикатором хода выполнения. В Windows откройте Другие действия и выберите Приостановить после этапа.
Дождитесь завершения текущего этапа. Сохранённая контрольная точка указывает завершённый этап.
Откройте Другие действия и выберите Продолжить со следующего этапа, чтобы продолжить со следующего незавершённого этапа, используя сохранённые профиль и прошедшее время.
Сохранение контрольной точки
Во время выполнения Отменить сегмент DUV останавливает выполнение и сохраняет завершённые контрольные точки. Другие действия > Сохранить файл процесса DUV включает контрольную точку в файл процесса.
Для возобновления оставьте без изменений входные данные пластины и фабрики, сопоставление этапов и идентификаторы пластины, партии и маршрута. Перед продолжением приложение проверяет хеши входных данных и результата контрольной точки и идентичность расчётного движка.