Входные данные раздела «От проекта к пластине»
Смотрите поля исходного пакета, диапазоны числовых входных данных и значения JSON завершающей обработки.
Этот справочник относится к vFactory в Cloud 2.1.2.10 и Windows 2.1.2.3.
Используйте эти значения в От проекта к пластине. Числовые входные данные задаются конечными числами; количество партий и пластин — целыми числами.
Исходный пакет
Импортировать исходные данные DDS / тейпаута принимает JSON-файл размером до 1 MiB (1048576 байт): сериализованный DesignToWaferInput или {source: DesignSource}. Пакет, содержащий только источник, использует предположения по умолчанию. Проверенные входные данные занимают не более 32768 байт канонического JSON.
DesignSource содержит projectId, gdsPath, inputSha256, structure и boundsM. Используйте путь хоста с .gds или .gdsii, шестнадцатеричный код из 64 символов в нижнем регистре для SHA-256 и границы [minX, minY, maxX, maxY] в метрах с положительными шириной и высотой. Геометрия использует сетку с целочисленными нанометровыми координатами.
В Cloud каждая сторона кристалла принимается в диапазоне от 1,5 до 20 мм, а Маршрут эталонной фабрики предлагает logic-a и logic-b, причём по умолчанию выбран logic-a. Windows использует logic-a.
Числовые значения
Время выпуска последней партии, (lot count − 1) × release interval, принимается до 31536000 секунд. Геометрия и производные значения проверяются при расчёте предварительного просмотра и выполнении.
Входные данные | Допустимые значения |
|---|---|
Ширина дорожки резки (µm) | 0–10000 |
Отступ от края (mm) | 0 ≤ значение < 150 |
Пользовательский D0 (дефектов/cm²) · Допущение | 0–1000000 |
Коэффициент кластеризации α | 0 < значение ≤ 1000000 |
Количество партий | 1–50 |
Пластин в партии | 1–1000 |
Интервал запуска (s) | 0–31536000 |
Класс ISO · Допущение | 1–9, включая дробные значения |
Пороговый диаметр D (µm) | 0,1–5 |
Нисходящий поток (m/s), Скорость осаждения (m/s), Экспозиция (s) | 0–9007199254740991 |
Доля осевших частиц (0–1), Доля критических дефектов (0–1) | 0–1 |
JSON завершающей обработки
Импортировать JSON завершающих операций принимает схему altifigence.vfactory-backend/v1, name и steps. Задайте 1–32 этапа с уникальными именами, каждый с name и durationS. Каждая длительность и их сумма принимаются в диапазоне от 0 до 31536000 секунд. Имена модели и этапов содержат 1–256 символов без пробелов по краям и без управляющих символов ASCII.
Связанные руководства
Работа с vFactory: исследуйте фабрику и проследите путь от проекта до пластины
Компоновки, данные процессов и результаты эталонной фабрики основаны на примерных предположениях.