Параметры фрагмента EUV
Смотрите значения по умолчанию для планирования фрагмента и параметры оптического запроса для локального EUV-формирования изображения.
Этот справочник относится к vFactory в Cloud 2.1.2.10 и Windows 2.1.2.3.
Клип EUV настраивает локальное формирование изображения импортированной геометрии GDS. Геометрия и сечения используют нм на маске. Задайте явные оптические параметры для локального формирования изображения.
Планирование фрагмента
Планировщик округляет ореол вверх до целого интервала растра. Один запуск принимает до 64 плиток.
Поле | Начальное значение после импорта |
|---|---|
Слой и тип данных | Слой первого импортированного полигона. |
X области (нм маски), Y области (нм маски) | Минимальные X и Y первого импортированного полигона. |
Ширина области (нм маски), Высота области (нм маски) | Размер первого полигона, ограниченный диапазоном 4–512 нм по каждой оси. |
Шаг растра (нм маски) | 4 |
Ореол (нм маски) | 32 |
Размер плитки (нм маски) | 512 |
Оптический запрос
Ниже приведены диапазоны, отображаемые в числовых полях. Значения дефокусировки — различные конечные числа, разделённые запятыми.
Поле | Начальное значение; входные значения |
|---|---|
Длина волны (nm) | 13,5; от 0,001 |
Числовая апертура | 0,33; 0,001–0,55 |
Экранирование | 0; 0–0,999 |
Источник освещения | Обычный; Обычный, Кольцевой, Диполь, Квадруполь, Пиксельный источник |
Список расфокусировок (нм) | 0; 1–32 значения |
Порог (Iref = 1) | 0,5; от 0,001 |
Ширина выходной сетки, Высота выходной сетки | По 64; целые числа от 2 до 512 |
Расширенные оптические настройки
Явные оптические данные (JSON) содержит stack, absorber, chiefRayDeg, polarization, transport и reflectionPlaneNm. Показатель преломления окружающей среды — {re: 1, im: 0}; поляризация — x или y; перенос — ideal-vector-v1 или euvlitho-vector-v1.
Цернике (JSON) принимает до 37 членов с различными индексами Нолла от 1 до 37 и coefficientWaves в длинах волн. Точки пиксельного источника (JSON) принимает 1–256 точек внутри единичного зрачка с неотрицательными весами и положительной суммой.
Численные параметры (JSON; null — по умолчанию движка) принимает null или refinements со значением 2 либо 3 и необязательным method со значением abbe, hopkins или socs. Дискретизация маски (JSON; null — по умолчанию движка) принимает null, непрерывную дискретизацию или пиксельную дискретизацию с целочисленными шириной и высотой от 1 до 8192.
Связанные руководства
Работа с vFactory: исследуйте фабрику и проследите путь от проекта до пластины
Компоновки, данные процессов и результаты эталонной фабрики основаны на примерных предположениях.