将已计算的器件结果关联到 DUV 晶圆
导入并检查已计算的 MOS 或 PN 器件回执,然后关联到当前 DUV 晶圆。这些步骤适用于 Cloud 2.1.2.10 和 Windows 2.1.2.3。
导入回执
在 vFactory 中打开“工艺模型”>“DUV 工艺连接”,并选择“运行 DUV 区段”。
等待“计算完成”出现,然后选择“导入已计算的器件结果记录”并选择回执 JSON 文件。
应用程序会验证文件完整性,并将项目、源修订版本、晶圆输入与结果、器件模型及所选深度窗口与当前流程进行比对。
检查并关联
检查“关联晶圆器件结果”,包括器件类型、晶圆标识符、深度窗口及计算值。
选择“关联器件结果”以关联已验证的回执,或选择“保留当前晶圆结果”以关闭待处理回执并保留当前结果。
打开“器件来源与模型限制”,查看源修订版本、引擎标识信息,以及输入与结果哈希值。