Посмотрите внутрь модели EUV в vFactory
Откройте внутренний вид EUV-сканера, проследите оптический путь и изучите источники.
Используйте инструмент «Лаборатория структуры EUV», чтобы изучить учебную модель сканера на Cloud или в приложении для Windows. Перед началом откройте эталонную фабрику по руководству ниже.
Откройте эталонную фабрику в vFactory
Откройте внутренний вид
На Cloud выберите 3D-карта на панели инструментов сцены эталонной фабрики и выберите EUV-сканер. В Windows выберите Пешком, щёлкните внутри 3D-вида фабрики, чтобы установить на него фокус, и используйте W/S и A/D, чтобы подойти к EUV-сканеру.
Когда появится действие для просмотра внутреннего устройства сканера, выберите его, например Заглянуть внутрь · EUV-сканер 1 для сканера 1.
Изучите модель
Внутренний вид открывается со скрытым корпусом и полностью видимым оптическим путём. Подписи компонентов помогают проследить этот путь в модели.
Прочитайте примечание о модели в этом виде.
Выберите Источники, чтобы прочитать справочные материалы.
Внутренний вид EUV-сканера 1 с показанными оптическими путями. Панель Описание обозначает модель как открытую структуру и концептуальную реконструкцию.
Вернитесь на фабрику
Выберите Закрыть вид изнутри, чтобы вернуться к сцене фабрики.
Структура EUV — учебная реконструкция на основе открытых сведений и допущений, а не данные измерений оборудования.