Разберитесь в модели структуры EUV и расчётах

Различайте учебную структурную модель и результаты расчёта оптического бюджета и изучайте допущения каждого вида.

Вид структуры EUV и калькулятор в vFactory отвечают на разные вопросы. Оба доступны на Cloud и в приложении для Windows.

Структура EUV и оптический расчёт

Различайте учебную структурную модель и результаты расчёта оптического бюджета и изучайте допущения каждого вида.

Входные данные

  • 1. Реконструкция · допущения: открытая структура, принятые размеры
  • 3. Оптические входные данные

Модель / действие

  • 2. Учебная реконструкция
  • 4. Рассчитать EUV

Результаты

  • 5. Баланс мощности света
  • 6. Плоский оптический отклик
  • 7. Баланс фотонов и шум

Связи

  • 1. Реконструкция · допущения: открытая структура, принятые размеры → 2. Учебная реконструкция: →
  • 3. Оптические входные данные → 4. Рассчитать EUV: →
  • 4. Рассчитать EUV → 5. Баланс мощности света: →
  • 4. Рассчитать EUV → 6. Плоский оптический отклик: →
  • 4. Рассчитать EUV → 7. Баланс фотонов и шум: →

Работа с vFactory: исследуйте фабрику и проследите путь от проекта до пластины

Что показывает структурная модель

Внутренний вид в Эталонная фабрика показывает учебную реконструкцию сканера. Она помогает проследить оптический путь и определить компоненты.

Геометрия модели и расположение компонентов основаны на открытых сведениях и допущениях. Выберите Источники во внутреннем виде, чтобы прочитать справочные материалы.

Что рассчитывает оптический бюджет

Расчёт EUV использует заданные вами параметры источника, многослойного покрытия, дозы, сканирования и фотонов. Рассчитываются мощность вдоль оптического пути, плоский оптический отклик, число фотонов и идеальная пуассоновская дисперсия.

Изменение входного параметра удаляет предыдущий результат. Выполните расчёт снова, чтобы получить результат для новых входных данных.

Изучайте результаты вместе с допущениями

На Cloud разверните Источники и допущения, чтобы проверить источник или допущение для каждого входного параметра. На Windows проверьте метку рядом с диапазоном каждого входного параметра. При сравнении расчётов сохраняйте и соответствующие входные значения.

Структурный вид объясняет расположение элементов модели, а бюджет даёт вычисленные значения для заданных входных данных. Изучайте каждый из них с учётом его собственных допущений.

Структурная модель является реконструкцией, а результаты расчётов зависят от заданных допущений; это не измерения реального сканера или фабрики.