將已計算的元件結果連結至 DUV 晶圓

匯入並檢閱已計算的 MOS 或 PN 元件回執,再連結至目前的 DUV 晶圓。這些步驟適用於 Cloud 2.1.2.10 與 Windows 2.1.2.3。

匯入回執

  1. 在 vFactory 中開啟「製程模型」>「DUV 製程連結」,並選取「執行 DUV 區段」。

  2. 等待「計算完成」出現,再選取「匯入已計算的元件結果紀錄」並選擇回執 JSON 檔案。

  3. 應用程式會驗證檔案完整性,並將專案、來源修訂版本、晶圓輸入與結果、元件模型及所選深度視窗與目前流程進行比對。

檢閱並連結

  1. 檢閱「連結晶圓元件結果」,包括元件類型、晶圓識別碼、深度視窗及計算值。

  2. 選取「連結元件結果」以連結已驗證的回執,或選取「保留目前晶圓結果」以關閉待處理的回執並保留目前結果。

  3. 開啟「元件來源與模型限制」,檢視來源修訂版本、引擎識別資訊,以及輸入與結果雜湊值。

在 vFactory 中執行第一個製程模型