Рассчитайте первый бюджет EUV в vFactory

Проверьте входные данные источника и сканирования, рассчитайте бюджет EUV и изучите результаты оптических и фотонных расчётов.

Калькулятор EUV выполняет расчёты локально в vFactory на Cloud или в приложении для Windows. Перед началом откройте vFactory по руководству ниже.

Откройте эталонную фабрику в vFactory

Проверьте входные данные

  1. Выберите вкладку Расчёт EUV.

  2. Для первого расчёта оставьте исходный пресет источника и начальные значения входных данных.

  3. Проверьте Допущения о дозе и сканировании и Допущения о фотонах. На Cloud разверните Источники и допущения, чтобы проверить источник или допущение для каждого входного параметра. На Windows проверьте метку рядом с диапазоном каждого входного параметра.

Расчёт EUV до расчёта: пресет источника RIKEN 2026 · Один пучок с входными данными лазерного источника и их диапазонами, первые входные данные Многослойная Mo/Si с покрытием Ru, пустые разделы Баланс мощности света, Плоский оптический отклик и Баланс фотонов и шум, а также развёрнутые Источники и допущения, где для каждого входа указаны Эксперимент RIKEN 2026 или Допущение.

Исходный пресет RIKEN 2026 · Один пучок. Источники и допущения показывают, взят ли каждый вход из эксперимента RIKEN 2026 или является допущением.

Рассчитайте бюджет

  1. Выберите Рассчитать EUV.

  2. Когда появится Расчёт EUV завершён., изучите Баланс мощности света: мощность вдоль оптического пути, результаты расчёта дозы и временных параметров.

  3. Изучите Плоский оптический отклик, чтобы узнать коэффициент отражения в зависимости от длины волны и угла. Изучите Баланс фотонов и шум, чтобы узнать число фотонов и идеальную пуассоновскую дисперсию.

Расчёт EUV после Рассчитать EUV: сообщение Расчёт EUV завершён., неизменные входные данные RIKEN 2026 · Один пучок и Баланс мощности света со столбцами мощности от источника до пластины от Лазер накачки (40 W) до На пластине и таблицей Баланс света по этапам.

После Рассчитать EUV Баланс мощности света показывает мощность на каждом этапе оптического пути, от лазера накачки до пластины.

Измените входной параметр

Изменение входного параметра удаляет предыдущий результат. Введите значения в пределах диапазонов, указанных в полях, и снова выберите Рассчитать EUV.

Результаты вычисляются по заданным входным данным и допущениям. Это не измеренные значения производительности сканера, спектров или производственных данных.