Выберите маршрут эталонной фабрики и объёмы партий
Проверьте маршрут, число партий, число пластин в партии и время запуска партий перед запуском дизайна в vFactory.
Выберите входные данные
В меню продуктов выберите vFactory → Процессы и фабрика, затем От проекта к пластине и импортируйте исходные данные проекта. В проекте Cloud с поддержкой этой возможности также можно открыть GDS-структуру с построенной проекцией через Отправить в vFactory.
В Cloud выберите logic-a или logic-b в Маршрут эталонной фабрики.
В разделе Геометрия, выход годных и запуск партий задайте Количество партий и Пластин в партии. Оба значения должны быть целыми: 1–50 партий и 1–1000 пластин в партии.
В Интервал запуска (s) задайте время между запусками партий в секундах.
Проверьте остальные числовые входные данные и выберите Рассчитать предварительный результат, чтобы просмотреть геометрию и оценки выхода годных.
Когда входные данные готовы, выберите Запустить моделирование от проекта к пластине.
Выберите logic-a или logic-b в Маршрут эталонной фабрики, затем проверьте Количество партий, Пластин в партии и Интервал запуска (s). Допустимый диапазон показан под каждым полем.
Windows 2.1.2.3 использует маршрут logic-a. Задайте объёмы партий и время их запуска в Геометрия, выход годных и запуск партий.
Задайте время запуска партий
Первая партия запускается в нулевой момент времени моделирования. Каждая следующая партия запускается через один интервал после предыдущей. Для трёх партий с интервалом 60 секунд моменты запуска составляют 0, 60 и 120 секунд. Для всех партий используются одинаковые маршрут и число пластин в партии.
Интервал может составлять 0–31536000 секунд. Последняя партия должна быть запущена в течение 31536000 секунд с начала моделирования. При нулевом интервале все партии запускаются в нулевой момент времени.
Проверьте результат
Рассчитать предварительный результат рассчитывает геометрию и оценки выхода годных. Отдельное действие Запустить моделирование от проекта к пластине запускает эталонную фабрику и показывает Завершение партий и поставка.
Проверьте число пластин, состояние, время цикла, время завершения и время поставки каждой партии. В Cloud результат также показывает Маршрут эталонной фабрики. Обработанные пластины учитывает пластины из завершённых партий.
Работа с vFactory: исследуйте фабрику и проследите путь от проекта до пластины
Эталонная фабрика использует синтетические допущения о процессе. Результаты являются оценками модели.