Оценки выхода годных в vFactory

Изучите входные значения плотности дефектов и вероятности трёх моделей.

Плотность дефектов

В Cloud vFactory раздел «Оценка геометрии и выхода годных» объединяет геометрию пластины, допущения о плотности дефектов и вероятности выхода годных.

Оценки выхода годных в vFactory

Изучите входные значения плотности дефектов и вероятности трёх моделей.

Допущения модели

  • 1. Пользовательский D0 (дефектов/cm²) · Допущение
  • 2. D0 среды (дефектов/cm²)
  • 4. Площадь кристалла (cm²)
  • 5. Коэффициент кластеризации α

Суммарный D0 (дефектов/cm²)

  • 3. Суммарный D0 (дефектов/cm²)

Вероятности выхода годных

  • 6. Вероятность по Пуассону
  • 7. Вероятность по Мёрфи
  • 8. Вероятность по отрицательному биномиальному распределению

Связи

  • 1. Пользовательский D0 (дефектов/cm²) · Допущение → 3. Суммарный D0 (дефектов/cm²): +
  • 2. D0 среды (дефектов/cm²) → 3. Суммарный D0 (дефектов/cm²): +
  • 3. Суммарный D0 (дефектов/cm²) → 6. Вероятность по Пуассону: D0
  • 3. Суммарный D0 (дефектов/cm²) → 7. Вероятность по Мёрфи: D0
  • 3. Суммарный D0 (дефектов/cm²) → 8. Вероятность по отрицательному биномиальному распределению: D0
  • 4. Площадь кристалла (cm²) → 6. Вероятность по Пуассону: A
  • 4. Площадь кристалла (cm²) → 7. Вероятность по Мёрфи: A
  • 4. Площадь кристалла (cm²) → 8. Вероятность по отрицательному биномиальному распределению: A
  • 5. Коэффициент кластеризации α → 8. Вероятность по отрицательному биномиальному распределению: α

Сумма «Пользовательский D0 (дефектов/cm²) · Допущение» и «D0 среды (дефектов/cm²)» даёт «Суммарный D0 (дефектов/cm²)». D0 выражается в дефектах/cm². Вклад среды рассчитывается по допущениям о чистом помещении.

Три модели

«Вероятность по Пуассону», «Вероятность по Мёрфи» и «Вероятность по отрицательному биномиальному распределению» используют одну и ту же площадь кристалла в cm² и суммарный D0. Отрицательная биномиальная модель также использует α для управления кластеризацией. Сравнивайте три вероятности с учётом допущений.

vFactory

Оценки — результаты моделей на основе указанных допущений, а не измеренный выход годных, сертификация или прогноз для реальной фабрики.