Запустите первую модель процесса в vFactory

Откройте модели процессов, проверьте входные данные примера, запустите модель и прочитайте результат.

Вкладка Модели процессов открывается с примером процесса обработки пластины. Проверьте входные данные, запустите модель и прочитайте рассчитанный результат.

Откройте модели процессов

  1. Откройте меню продуктов и выберите vFactory, затем Процессы и фабрика.

  2. Выберите вкладку Модели процессов.

  3. В списке Модель оставьте вариант Процесс пластины. Форма начинается с входных данных Пример плоского слоя.

Проверьте входные данные

  1. Просмотрите разделы Коэффициенты материалов, Начальные слои от поверхности и Последовательность процесса.

  2. В последовательности примера три шага: Осаждение легированной плёнки, Отжиг слоёв и Селективное травление плёнки.

  3. Раскройте раздел Допущения модели и единицы, чтобы прочитать единицы измерения и границы модели.

Вкладка Модели процессов, в поле Модель выбрано Процесс пластины. Открыт раздел Допущения модели и единицы, далее следуют Коэффициенты материалов для подложки и плёнки, Начальные слои от поверхности и начало раздела Последовательность процесса. Панель результатов сообщает, что вычисленных результатов пока нет.

Перед первым запуском просмотрите допущения и единицы примера, коэффициенты материалов и начальные слои. Результат ещё не показан.

Запустите модель

  1. Нажмите кнопку Запустить моделирование (кнопка воспроизведения) на панели инструментов.

  2. Пока модель работает, в строке состояния отображается Вычисление модели…. Чтобы остановить запуск, нажмите кнопку Отменить моделирование.

  3. Когда в строке состояния появится Расчёт завершён, рядом с входными данными отобразится результат, в том числе Логарифм концентрации и Просмотр этапа процесса.

Модели процессов после запуска. В строке состояния отображается Расчёт завершён, а раздел Происхождение выполнения процесса показывает запуск как завершённый. Раздел Вычисленные результаты показывает этап 3. Селективное травление плёнки с его толщиной, дозой и числом ячеек, график концентрации по глубине и таблицу История процесса и сохранение.

После статуса Расчёт завершён результат показывает выбранный этап процесса, профиль концентрации по глубине и историю процесса. Раздел Происхождение выполнения процесса показывает запуск как завершённый.

Если после запуска изменить входные данные, в строке состояния появится Входные данные изменены. Чтобы обновить результат, снова нажмите кнопку Запустить моделирование.

Модели процессов после изменения входных данных. Баннер Входные данные изменены сообщает, что отображаемый результат относится к более ранним входным данным и что для обновления следует запустить обновлённую модель. У шага диффузии Отжиг слоёв теперь Длительность (s) равна 60, а более ранний результат остаётся справа.

Баннер «Входные данные изменены» показывает, что результат справа получен для прежних входных данных, пока вы снова не запустите модель.

Если запуск не завершился

Сообщение появляется вместе с описанием проблемы. Следуйте инструкциям в сообщении, затем снова запустите модель. появляется вместе с описанием проблемы. Исправьте входные данные и снова запустите модель.

Кнопка Запустить моделирование недоступна, пока идёт запуск или операция с файлами проекта.

Когда файлы проекта недоступны, Запустить моделирование нельзя использовать. Переподключите проект, затем запустите модель.

Если появится сообщение Проект изменён, следуйте его указанию: Откройте документ процесса в этом проекте или создайте новый.

Сохраните входные данные и результат

  1. Кнопка Сохранить входные данные сохраняет текущие входные данные в файл JSON.

  2. Кнопка Экспорт результатов доступна после запуска и сохраняет входные данные вместе с результатом.

  3. Чтобы затем попробовать модель фабрики, выберите Моделирование фабрики в списке Модель. Она начинается с входных данных Пример фабрики с повторными операциями.

Работа с vFactory: исследуйте фабрику и проследите путь от проекта до пластины

Примеры входных данных основаны на синтетических допущениях. Результаты получены моделированием заданной модели, а не измерениями на производстве.