Запуск и сохранение связанного процесса DUV
Свяжите этапы обработки пластины с оборудованием фабрики, запустите сегмент DUV и сохраните процесс локально или в выбранном проекте. Эти действия применимы к Cloud 2.1.2.10 и Windows 2.1.2.3.
Открытие рабочей среды DUV
В vFactory выберите Модели процессов, затем Связь процессов DUV.
В Cloud разверните Изменить сопоставленные входные данные модели в форме, чтобы изменить рецепт пластины и входные данные оборудования фабрики. В Windows разверните первый раздел Расширенные параметры для доступа к этим формам.
Для редактирования JSON в Cloud разверните Изменить сопоставленные входные данные модели в JSON. В Windows разверните нижний раздел Расширенные параметры, содержащий Входные данные модели. Измените JSON и выберите Применить входные данные. Редактируемые поля: wafer, fab, mapping, waferId, lotId и routeId.
Запуск и проверка сегмента
Выберите Запустить сегмент DUV для расчёта моделей пластины и фабрики. Во время выполнения выберите Отменить сегмент DUV для остановки.
Когда появится Расчёт завершён, выберите этап в DUV stage mapping, чтобы проверить его оборудование, расписание и рассчитанный профиль в сцене фабрики в масштабе.
Разверните Данные о выполнении процесса, чтобы проверить выбранный этап и идентичность расчётных движков пластины и фабрики.
Сохранение и открытие локальных файлов
Откройте Другие действия > Сохранить файл процесса DUV. И в Cloud, и в Windows начнётся скачивание файла duv-flow.alcad-duv-fab.json.
Выберите Другие действия > Открыть файл процесса DUV и укажите сохранённый процесс JSON. Если в текущем процессе есть изменения без подтверждённого сохранения файла, выберите Replace DUV flow или Keep current DUV flow.
Чтобы подключить сцену в масштабе, выберите Другие действия > Подключить файл сцены в масштабе и укажите её файл JSON.
Сохранение и открытие файлов проекта
Используйте выбранный проект с активным файловым сеансом и разрешением на сохранение его файлов. В Cloud остановите среду выполнения проекта перед сохранением. Операции с проектом проверяют проект, сеанс и ревизию источника.
Выберите Сохранить поток DUV как файл проекта, введите новое Имя файла документа проекта, например duv-flow.alcad-fab-scene.json, и выберите Сохранить документ проекта.
Выберите Открыть поток DUV из проекта, укажите Документ проекта и выберите Открыть документ проекта. Если в черновике есть несохранённые изменения, перед открытием выберите Заменить текущий несохранённый черновик этим файлом.
После открытия или сохранения файла проекта выберите Сохранить поток DUV в проект, чтобы обновить этот файл. Для нового процесса этот элемент управления открывает диалоговое окно имени файла. Используйте Сохранить поток DUV как файл проекта с другим именем файла, чтобы создать ещё один файл.
Дождитесь подтверждения сохранения. Приложение проверяет версию существующего файла перед заменой и повторно считывает сохранённое содержимое для его проверки.