vFactory 수율 추정 이해하기

수율 추정의 결함 밀도 입력값과 세 모델의 확률을 읽습니다.

결함 밀도

Cloud vFactory의 “형상 및 수율 추정”에는 웨이퍼 형상, 결함 밀도 가정값과 수율 확률이 함께 표시됩니다.

vFactory 수율 추정 이해하기

수율 추정의 결함 밀도 입력값과 세 모델의 확률을 읽습니다.

모델 가정

  • 1. 사용자 D0 (결함/cm²) · 가정
  • 2. 환경 D0 (결함/cm²)
  • 4. 다이 면적 (cm²)
  • 5. 군집 계수 α

총 D0 (결함/cm²)

  • 3. 총 D0 (결함/cm²)

수율 확률

  • 6. 푸아송 확률
  • 7. 머피 확률
  • 8. 음이항 확률

연결

  • 1. 사용자 D0 (결함/cm²) · 가정 → 3. 총 D0 (결함/cm²): +
  • 2. 환경 D0 (결함/cm²) → 3. 총 D0 (결함/cm²): +
  • 3. 총 D0 (결함/cm²) → 6. 푸아송 확률: D0
  • 3. 총 D0 (결함/cm²) → 7. 머피 확률: D0
  • 3. 총 D0 (결함/cm²) → 8. 음이항 확률: D0
  • 4. 다이 면적 (cm²) → 6. 푸아송 확률: A
  • 4. 다이 면적 (cm²) → 7. 머피 확률: A
  • 4. 다이 면적 (cm²) → 8. 음이항 확률: A
  • 5. 군집 계수 α → 8. 음이항 확률: α

“사용자 D0 (결함/cm²) · 가정”과 “환경 D0 (결함/cm²)”를 더하면 “총 D0 (결함/cm²)”가 됩니다. D0의 단위는 결함/cm²입니다. 환경 기여분은 클린룸 가정값으로 계산합니다.

세 가지 모델

“푸아송 확률”, “머피 확률”, “음이항 확률”은 같은 다이 면적(cm²)과 총 D0를 사용합니다. 음이항 모델은 군집 정도를 조절하는 α도 사용합니다. 가정값을 살펴보며 세 확률을 비교하세요.

vFactory

추정값은 명시된 가정에 따른 모델 출력이며, 측정 수율이나 인증 결과 또는 실제 팹에 대한 예측이 아닙니다.