瞭解 vFactory 的良率估算
閱讀良率估算的缺陷密度輸入與三個模型的機率。
缺陷密度
Cloud vFactory 的「幾何與良率估算」整合了晶圓幾何、缺陷密度假設與良率機率。
瞭解 vFactory 的良率估算
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模型假設
- 1. 使用者 D0 (缺陷/cm²) · 假設
- 2. 環境 D0 (缺陷/cm²)
- 4. 晶粒面積 (cm²)
- 5. 群聚係數 α
總 D0 (缺陷/cm²)
- 3. 總 D0 (缺陷/cm²)
良率機率
- 6. 卜瓦松機率
- 7. 墨菲機率
- 8. 負二項機率
連線
- 1. 使用者 D0 (缺陷/cm²) · 假設 → 3. 總 D0 (缺陷/cm²): +
- 2. 環境 D0 (缺陷/cm²) → 3. 總 D0 (缺陷/cm²): +
- 3. 總 D0 (缺陷/cm²) → 6. 卜瓦松機率: D0
- 3. 總 D0 (缺陷/cm²) → 7. 墨菲機率: D0
- 3. 總 D0 (缺陷/cm²) → 8. 負二項機率: D0
- 4. 晶粒面積 (cm²) → 6. 卜瓦松機率: A
- 4. 晶粒面積 (cm²) → 7. 墨菲機率: A
- 4. 晶粒面積 (cm²) → 8. 負二項機率: A
- 5. 群聚係數 α → 8. 負二項機率: α
「使用者 D0 (缺陷/cm²) · 假設」加上「環境 D0 (缺陷/cm²)」即為「總 D0 (缺陷/cm²)」。D0 的單位是缺陷/cm²。環境貢獻由無塵室假設計算而來。
三個模型
「卜瓦松機率」、「墨菲機率」與「負二項機率」使用相同的晶粒面積（cm²）及總 D0。負二項模型還使用 α 控制群聚程度。比較三個機率時，請一併考量假設。
估算是依據明示假設產生的模型輸出，並非實測良率、認證或對真實晶圓廠的預測。