シーンのデフォルト値
ウェーハ、歩行、環境の初期値、単位、受け付ける範囲を確認します。
このリファレンスはCloud 2.1.2.10およびWindows 2.1.2.3のvFactoryに適用されます。
新規シーンは、以下のウェーハ、歩行、環境の値で開始します。編集するにはファブ設定を開きます。
ウェーハと歩行の値
ウェーハのフィールドは床とウェーハ、歩行のフィールドはウォークにあります。
フィールド | デフォルト値；許容範囲 |
|---|---|
ウェーハ直径 | 300 mm; 25–450 mm |
ウェーハ厚さ | 0.775 mm; 0.1–2 mm |
ロードポートのウェーハ高さ | 900 mm; 0–3000 mm |
目の高さ | 1.6 m; 1–2.2 m |
体の半径 | 300 mm; 150–600 mm |
歩行速度 | 1.4 m/s; 0.2–5 m/s |
旋回速度 | 90 °/s; 15–360 °/s |
環境の値
記録されたシーンの環境値は環境を開いて確認します。
フィールド | デフォルト値；許容範囲 |
|---|---|
周囲温度 | 21 °C; 15–30 °C |
相対湿度 | 45 %RH; 20–70 %RH |
浮遊粒子清浄度 (粉じん) | ISO 14644-1 クラス5；クラス1–9、整数 |
ダウンフロー風速 | 0.4 m/s; 0–1 m/s |
室間差圧 | 15 Pa; 0–50 Pa |
座標と保存単位
保存される長さにはミリメートル、角度には度を使用します。原点は床の南西角で、Xは東、Yは北、Zは床から上を向きます。
関連ガイド
参照ファブのレイアウト、プロセスデータ、結果には例としての仮定が使われます。