장면 기본값

웨이퍼, 걷기 및 환경의 초기값과 단위, 허용 범위를 확인하세요.

이 참조 문서는 Cloud 2.1.2.10 및 Windows 2.1.2.3의 vFactory에 적용됩니다.

새 장면은 이 웨이퍼, 걷기 및 환경 값으로 시작합니다. 팹 설정을 열어 편집하세요.

웨이퍼 및 걷기 값

웨이퍼 필드는 바닥과 웨이퍼에 있습니다. 걷기 필드는 보행에 있습니다.

필드

기본값; 허용 범위

웨이퍼 지름

300 mm; 25–450 mm

웨이퍼 두께

0.775 mm; 0.1–2 mm

로드 포트 웨이퍼 높이

900 mm; 0–3000 mm

눈높이

1.6 m; 1–2.2 m

몸 반경

300 mm; 150–600 mm

보행 속도

1.4 m/s; 0.2–5 m/s

회전 속도

90 °/s; 15–360 °/s

환경 값

환경을 열어 장면에 기록된 환경 값을 확인하세요.

필드

기본값; 허용 범위

주변 온도

21 °C; 15–30 °C

상대 습도

45 %RH; 20–70 %RH

공기 중 입자 청정도 (먼지)

ISO 14644-1 등급 5; 등급 1–9, 정수

하강 기류 속도

0.4 m/s; 0–1 m/s

실내 차압

15 Pa; 0–50 Pa

좌표 및 저장 단위

저장되는 길이의 단위는 밀리미터이며, 각도의 단위는 도입니다. 원점은 바닥의 남서쪽 모서리입니다. X는 동쪽, Y는 북쪽, Z는 바닥에서 위쪽을 향합니다.

관련 가이드

vFactory에서 참조 팹 열기

레퍼런스 팹의 배치, 공정 데이터 및 결과에는 예시용 가정값을 사용합니다.