장면 기본값
웨이퍼, 걷기 및 환경의 초기값과 단위, 허용 범위를 확인하세요.
이 참조 문서는 Cloud 2.1.2.10 및 Windows 2.1.2.3의 vFactory에 적용됩니다.
새 장면은 이 웨이퍼, 걷기 및 환경 값으로 시작합니다. 팹 설정을 열어 편집하세요.
웨이퍼 및 걷기 값
웨이퍼 필드는 바닥과 웨이퍼에 있습니다. 걷기 필드는 보행에 있습니다.
필드 | 기본값; 허용 범위 |
|---|---|
웨이퍼 지름 | 300 mm; 25–450 mm |
웨이퍼 두께 | 0.775 mm; 0.1–2 mm |
로드 포트 웨이퍼 높이 | 900 mm; 0–3000 mm |
눈높이 | 1.6 m; 1–2.2 m |
몸 반경 | 300 mm; 150–600 mm |
보행 속도 | 1.4 m/s; 0.2–5 m/s |
회전 속도 | 90 °/s; 15–360 °/s |
환경 값
환경을 열어 장면에 기록된 환경 값을 확인하세요.
필드 | 기본값; 허용 범위 |
|---|---|
주변 온도 | 21 °C; 15–30 °C |
상대 습도 | 45 %RH; 20–70 %RH |
공기 중 입자 청정도 (먼지) | ISO 14644-1 등급 5; 등급 1–9, 정수 |
하강 기류 속도 | 0.4 m/s; 0–1 m/s |
실내 차압 | 15 Pa; 0–50 Pa |
좌표 및 저장 단위
저장되는 길이의 단위는 밀리미터이며, 각도의 단위는 도입니다. 원점은 바닥의 남서쪽 모서리입니다. X는 동쪽, Y는 북쪽, Z는 바닥에서 위쪽을 향합니다.
관련 가이드
레퍼런스 팹의 배치, 공정 데이터 및 결과에는 예시용 가정값을 사용합니다.