Valores padrão da cena
Consulte os valores iniciais de wafer, caminhada e ambiente, suas unidades e as faixas aceitas.
Esta referência se aplica ao vFactory no Cloud 2.1.2.10 e no Windows 2.1.2.3.
As novas cenas começam com estes valores de wafer, caminhada e ambiente. Abra Configurações da fábrica para editá-los.
Valores de wafer e caminhada
Os campos de wafer ficam em Piso e wafer. Os campos de caminhada ficam em Caminhar.
Campo | Padrão; faixa aceita |
|---|---|
Diâmetro do wafer | 300 mm; 25–450 mm |
Espessura do wafer | 0,775 mm; 0,1–2 mm |
Altura do wafer no porto de carga | 900 mm; 0–3000 mm |
Altura da vista | 1,6 m; 1–2,2 m |
Raio do corpo | 300 mm; 150–600 mm |
Velocidade de caminhada | 1,4 m/s; 0,2–5 m/s |
Velocidade de giro | 90 °/s; 15–360 °/s |
Valores do ambiente
Abra Ambiente para consultar os valores do ambiente registrados na cena.
Campo | Padrão; faixa aceita |
|---|---|
Temperatura ambiente | 21 °C; 15–30 °C |
Umidade relativa | 45 %RH; 20–70 %RH |
Limpeza de partículas no ar (poeira) | ISO 14644-1, classe 5; classes 1–9, números inteiros |
Velocidade do ar descendente | 0,4 m/s; 0–1 m/s |
Diferença de pressão da sala | 15 Pa; 0–50 Pa |
Coordenadas e unidades armazenadas
Os comprimentos são armazenados em milímetros e os ângulos em graus. A origem fica no canto sudoeste do piso: X aponta para leste, Y para norte e Z para cima a partir do piso.
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