在 vFactory 中查看 EUV 模型內部

使用 EUV 結構實驗室，在 Cloud 或 Windows 應用程式中檢視教學用掃描機模型。開始前，請依照下方指南開啟參考晶圓廠。

在 vFactory 中開啟參考晶圓廠

開啟內部視圖

1. 在 Cloud 上，於參考晶圓廠場景的工具列中選擇 3D 地圖，並選取 EUV 掃描機。在 Windows 中，選擇 步行，在 3D 晶圓廠視圖內按一下以將焦點移至該視圖，再使用 W/S 與 A/D 靠近 EUV 掃描機。

2. 當掃描機的查看內部操作出現時，選擇該操作，例如掃描機 1 的 查看內部 · EUV 曝光機 1。

瞭解模型

內部視圖開啟時會隱藏外殼，並顯示完整光路。元件標籤可協助您沿著模型中的光路查看。

1. 閱讀視圖中的模型說明。

2. 選擇 來源 以閱讀參考資料。

顯示光路的 EUV 曝光機 1 內部視圖。說明面板將模型標為公開結構與概念性重建。

返回晶圓廠

選擇 關閉內部檢視 以返回晶圓廠場景。

EUV 結構是依據公開資訊與假設重建的教學模型，並非設備實測資料。