vFactory で EUV モデルの内部を見る

EUV 構造ラボ を使って、Cloud または Windows アプリで学習用スキャナーモデルを確認します。始める前に、下記のガイドに従って参照ファブを開いてください。

vFactory で参照ファブを開く

内部ビューを開く

1. Cloud では、参照ファブのシーンツールバーで 3D マップ を選択し、EUV スキャナーを選択します。Windows では、ウォーク を選択し、3D ファブビュー内をクリックしてフォーカスを合わせ、W/S と A/D で EUV スキャナーに近づきます。

2. スキャナーの内部を見るための操作が表示されたら選択します。スキャナー 1 では 内部を見る · EUV スキャナー 1 などが該当します。

モデルを読み解く

内部ビューは外装を非表示にし、光路全体が見える状態で開きます。部品ラベルを使ってモデル内の光路をたどれます。

1. ビュー内のモデルに関する注意事項を読みます。

2. 出典 を選択して参考資料を確認します。

光路を表示した EUV スキャナー 1 の内部ビューです。説明パネルは、モデルを公開構造であり概念的再構成であると示します。

ファブに戻る

内部ビューを閉じる を選択してファブのシーンに戻ります。

EUV 構造は公開情報と仮定に基づく学習用の再構成であり、装置の実測データではありません。