vFactory에서 EUV 모델 내부 보기

EUV 스캐너 내부 보기를 열고 광학 경로와 출처를 확인합니다.

Cloud 또는 Windows 앱에서 EUV 구조 랩을 사용해 교육용 스캐너 모델을 살펴보세요. 시작하기 전에 아래 안내에 따라 참조 팹을 여세요.

내부 보기 열기

Cloud에서는 참조 팹 장면의 도구 모음에서 3D 지도를 선택한 뒤 EUV 스캐너를 선택하세요. Windows에서는 보행을 선택하고 3D 팹 보기 안을 클릭해 초점을 맞추세요. W/S와 A/D로 EUV 스캐너 가까이 이동하세요.
해당 스캐너의 내부 보기 동작이 나타나면 선택하세요. 예를 들어 스캐너 1의 동작 이름은 안으로 보기 · EUV 노광기 1입니다.

내부 보기는 외장을 숨기고 전체 광학 경로가 보이는 상태로 열립니다. 부품 라벨을 따라 모델의 경로를 살펴보세요.

광학 경로가 표시된 EUV 노광기 1의 내부 보기입니다. 설명 패널은 이 모델을 공개 구조이자 개념 재구성으로 표시합니다.

내부 보기 닫기를 선택하면 팹 장면으로 돌아갑니다.

EUV 구조는 공개 정보와 가정을 바탕으로 재구성한 교육용 모델이며 실제 장비의 측정 자료가 아닙니다.