在 vFactory 中查看 EUV 模型内部

使用 EUV 结构实验室，在 Cloud 或 Windows 应用中检查教学用扫描机模型。开始前，请按照下方指南打开参考晶圆厂。

在 vFactory 中打开参考晶圆厂

打开内部视图

1. 在 Cloud 上，在参考晶圆厂场景的工具栏中选择 3D 地图，并选择 EUV 扫描机。在 Windows 中，选择 漫游，在 3D 晶圆厂视图内单击以将焦点移至该视图，再使用 W/S 和 A/D 靠近 EUV 扫描机。

2. 当扫描机的查看内部操作出现时，选择该操作，例如扫描机 1 的 查看内部 · EUV 光刻机 1。

了解模型

内部视图打开时会隐藏外壳，并显示完整光路。组件标签可帮助您沿着模型中的光路查看。

1. 阅读视图中的模型说明。

2. 选择 来源 以阅读参考资料。

显示光路的 EUV 光刻机 1 内部视图。说明面板将模型标为公开结构与概念性重建。

返回晶圆厂

选择 关闭内部视图 以返回晶圆厂场景。

EUV 结构是根据公开信息与假设重建的教学模型，并非设备实测数据。