Veja o interior do modelo EUV no vFactory

Abra a visualização interna de um scanner EUV, siga seu caminho óptico e leia suas fontes.

Use o Laboratório de estrutura EUV para inspecionar um modelo didático de scanner no Cloud ou no aplicativo para Windows. Antes de começar, abra a fábrica de referência seguindo o guia abaixo.

Abra a fábrica de referência no vFactory

Abra a visualização interna

  1. No Cloud, escolha Mapa em 3D na barra de ferramentas da cena da fábrica de referência e selecione um scanner EUV. No Windows, escolha Caminhar, clique na visualização 3D da fábrica para colocá-la em foco e use W/S e A/D para se aproximar de um scanner EUV.

  2. Escolha a ação de visualização interna do scanner quando ela aparecer, como Ver por dentro · scanner EUV 1 para o scanner 1.

Interprete o modelo

A visualização interna é aberta com o invólucro oculto e todo o caminho óptico visível. Os rótulos dos componentes ajudam você a seguir o caminho pelo modelo.

  1. Leia o aviso sobre o modelo na visualização.

  2. Escolha Fontes para ler o material de referência.

Visualização interna do scanner EUV 1 no Laboratório de estrutura EUV: um modelo de scanner High-NA · 0.55 NA com o invólucro oculto e caminhos ópticos EUV roxos, os botões Como usar e Fontes, a caixa de seleção Carcaça desmarcada e as caixas Trajetos de luz e Nomes marcadas, e um painel Notas com a etiqueta Estrutura pública · reconstrução conceitual.

A visualização interna do scanner EUV 1 com os caminhos ópticos exibidos. O painel Notas identifica o modelo como uma estrutura pública e uma reconstrução conceitual.

Volte à fábrica

Escolha Fechar vista interna para voltar à cena da fábrica.

A estrutura EUV é uma reconstrução didática baseada em informações públicas e premissas, não em dados medidos de equipamentos.