「設計からウェーハへ」の入力
ソースパッケージのフィールド、数値入力範囲、後工程JSONの値を確認します。
このリファレンスはCloud 2.1.2.10およびWindows 2.1.2.3のvFactoryに適用されます。
設計からウェーハへでこれらの値を使用します。数値入力には有限数を、ロット数とウェーハ数には整数を使用します。
ソースパッケージ
DDS／テープアウトのソースをインポートではシリアライズした DesignToWaferInput または {source: DesignSource} を含む最大1 MiB（1048576バイト）のJSONファイルを受け付けます。ソースのみのパッケージにはデフォルトの仮定が使われます。検証済み入力は正規JSONで32768バイト以内に収まります。
DesignSource には projectId、gdsPath、inputSha256、structure、boundsM が含まれます。.gds または .gdsii のホストパス、64文字の小文字十六進数SHA-256、正の幅と高さを持つメートル単位の境界 [minX, minY, maxX, maxY] を使用します。形状には整数ナノメートル格子を使用します。
Cloudではダイの各辺に1.5〜20 mmを指定できます。参照ファブのルートには logic-a と logic-b があり、デフォルトでは logic-a が選択されます。Windowsでは logic-a を使用します。
数値
最後のロット投入時刻 (lot count − 1) × release interval は最大31536000秒まで指定できます。形状と導出値はプレビュー計算時と実行時に検証されます。
入力 | 許容値 |
|---|---|
スクライブ幅 (µm) | 0–10000 |
エッジ除外幅 (mm) | 0 ≤ 値 < 150 |
ユーザー D0 (欠陥/cm²) · 仮定 | 0–1000000 |
クラスタリング係数 α | 0 < 値 ≤ 1000000 |
ロット数 | 1–50 |
ロット当たりのウェーハ数 | 1–1000 |
投入間隔 (s) | 0–31536000 |
ISO クラス · 仮定 | 1–9、小数値も可 |
しきい直径 D (µm) | 0.1–5 |
下降気流 (m/s), 沈降速度 (m/s), 曝露時間 (s) | 0–9007199254740991 |
付着率 (0–1), 致命欠陥率 (0–1) | 0–1 |
後工程JSON
後工程 JSON をインポートではスキーマ altifigence.vfactory-backend/v1、name、steps を受け付けます。名前が一意のステップを1–32個指定し、各ステップに name と durationS を含めます。各所要時間とその合計は0〜31536000秒です。モデル名とステップ名は1–256文字で、先頭・末尾の空白やASCII制御文字を含めない形式を使用します。
関連ガイド
vFactory の使い方：ファブを見学し、設計からウェーハまでをたどる
参照ファブのレイアウト、プロセスデータ、結果には例としての仮定が使われます。