설계에서 웨이퍼로 입력값

설계에서 웨이퍼로 입력값

소스 패키지 필드, 숫자 입력 범위 및 후공정 JSON 값을 확인하세요.

이 참조 문서는 Cloud 2.1.2.10 및 Windows 2.1.2.3의 vFactory에 적용됩니다.

설계에서 웨이퍼로 화면에서 이 값을 사용하세요. 숫자 입력에는 유한수를, 로트 수와 웨이퍼 수에는 정수를 사용합니다.

소스 패키지

DDS / 테이프아웃 소스 가져오기는 최대 1 MiB(1048576바이트)의 JSON 파일을 받습니다. 직렬화된 DesignToWaferInput 또는 {source: DesignSource}를 사용하세요. 소스 전용 패키지에는 기본 가정값을 사용합니다. 검증된 입력은 정규 JSON으로 32768바이트 이내입니다.

DesignSource에는 projectId, gdsPath, inputSha256, structure 및 boundsM이 포함됩니다. .gds 또는 .gdsii 호스트 경로, 64자리 소문자 십육진수 SHA-256, 양의 너비와 높이를 갖는 미터 단위 경계 [minX, minY, maxX, maxY]를 사용하세요. 형상은 정수 나노미터 격자를 사용합니다.

Cloud에서는 다이의 각 변에 1.5~20 mm를 입력할 수 있으며, 참조 팹 경로에서 logic-a와 logic-b를 선택할 수 있습니다. 기본값은 logic-a입니다. Windows는 logic-a를 사용합니다.

숫자 값

마지막 로트 투입 시간인 (lot count − 1) × release interval은 최대 31536000초까지 허용됩니다. 미리보기 계산 및 실행 중에 형상과 파생값을 검증합니다.

입력	허용 값
스크라이브 (µm)	0–10000
가장자리 제외 (mm)	0 ≤ 값 < 150
사용자 D0 (결함/cm²) · 가정	0–1000000
군집 계수 α	0 < 값 ≤ 1000000
로트 수	1–50
로트당 웨이퍼 수	1–1000
투입 간격 (초)	0–31536000
ISO 등급 · 가정	1–9, 소수 포함
입자 임계 직경 D (µm)	0.1–5
하강 기류 (m/s), 침강 속도 (m/s), 노출 시간 (초)	0–9007199254740991
침착 비율 (0–1), 치명 결함 비율 (0–1)	0–1

후공정 JSON

백엔드 JSON 가져오기는 스키마 altifigence.vfactory-backend/v1, name 및 steps를 받습니다. 서로 다른 이름을 가진 단계 1–32개를 제공하고, 각 단계에 name과 durationS를 넣으세요. 각 소요 시간과 그 합은 0~31536000초가 허용됩니다. 모델과 단계 이름은 양 끝 공백을 제거한 1–256자로, ASCII 제어 문자를 제외합니다.

소스 패키지

숫자 값

후공정 JSON

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