Entradas de “Do projeto ao wafer”
Consulte os campos do pacote de origem, as faixas de entrada numérica e os valores do JSON do processo posterior.
Esta referência se aplica ao vFactory no Cloud 2.1.2.10 e no Windows 2.1.2.3.
Use estes valores em Do projeto ao wafer. As entradas numéricas usam números finitos; as quantidades de lotes e wafers usam números inteiros.
Pacote de origem
Importar origem DDS / de envio à fabricação aceita um arquivo JSON de até 1 MiB (1048576 bytes): um DesignToWaferInput serializado ou {source: DesignSource}. Um pacote apenas de origem usa as premissas padrão. A entrada validada cabe em 32768 bytes de JSON canônico.
DesignSource contém projectId, gdsPath, inputSha256, structure e boundsM. Use um caminho de host .gds ou .gdsii, um valor hexadecimal minúsculo de 64 caracteres para SHA-256 e limites [minX, minY, maxX, maxY] em metros com largura e altura positivas. A geometria usa uma grade de nanômetros inteiros.
No Cloud, cada lado do die aceita de 1,5 a 20 mm, e Rota da fábrica de referência oferece logic-a e logic-b, com logic-a selecionado por padrão. O Windows usa logic-a.
Valores numéricos
O tempo de liberação do último lote, (lot count − 1) × release interval, é aceito até 31536000 segundos. A geometria e os valores derivados são validados durante o cálculo da prévia e a execução.
Entrada | Valores aceitos |
|---|---|
Largura de corte (µm) | 0–10000 |
Exclusão de borda (mm) | 0 ≤ valor < 150 |
D0 do usuário (defeitos/cm²) · Hipótese | 0–1000000 |
Coeficiente de agrupamento α | 0 < valor ≤ 1000000 |
Quantidade de lotes | 1–50 |
Wafers por lote | 1–1000 |
Intervalo de liberação (s) | 0–31536000 |
Classe ISO · Hipótese | 1–9, incluindo valores fracionários |
Limiar D (µm) | 0,1–5 |
Fluxo descendente (m/s), Velocidade de sedimentação (m/s), Exposição (s) | 0–9007199254740991 |
Fração de deposição (0–1), Fração de defeitos críticos (0–1) | 0–1 |
JSON do processo posterior
Importar JSON de etapas finais aceita o esquema altifigence.vfactory-backend/v1, um name e steps. Forneça de 1 a 32 etapas com nomes únicos, cada uma com name e durationS. Cada duração e a soma delas são aceitas de 0 a 31536000 segundos. Os nomes de modelos e etapas usam de 1 a 256 caracteres, sem espaços nas extremidades e sem caracteres de controle ASCII.
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