运行并保存已连接的 DUV 工艺
将晶圆步骤连接到制造设备，运行 DUV 区段，并将流程保存在本地或所选项目中。这些步骤适用于 Cloud 2.1.2.10 和 Windows 2.1.2.3。
打开 DUV 工作台
在 vFactory 中选择“工艺模型”，然后选择“DUV 工艺连接”。
在 Cloud 上，展开“在表单中编辑映射的模型输入”以更改晶圆配方和制造设备输入。在 Windows 上，展开第一个“高级输入”部分即可使用这些表单。
如需在 Cloud 上编辑 JSON，请展开“以 JSON 编辑映射的模型输入”。在 Windows 上，展开下方包含“模型输入数据”的“高级输入”部分。编辑 JSON 并选择“应用模型输入”。可编辑的字段为 wafer、fab、mapping、waferId、lotId 和 routeId。
运行并查看区段
选择“运行 DUV 区段”以计算晶圆和制造模型。执行期间可选择“取消 DUV 区段”以停止运行。
“计算完成”出现时，在“DUV stage mapping”中选择一个步骤，以在实际比例的制造场景中查看其设备、排程及已计算的剖面。
展开“流程执行来源”，查看所选步骤，以及晶圆和制造引擎的标识信息。
保存并打开本地文件
打开“更多操作”>“保存 DUV 流程文件”。在 Cloud 和 Windows 上，此操作都会开始下载名为 duv-flow.alcad-duv-fab.json 的文件。
选择“更多操作”>“打开 DUV 流程文件”，并选择已保存的 JSON 流程。如果当前流程有尚未确认已保存到文件的更改，请选择“Replace DUV flow”或“Keep current DUV flow”。
如需连接实际比例场景，请选择“更多操作”>“连接实际比例场景文件”，并选择其场景 JSON 文件。
保存并打开项目文件
使用已选中、文件会话有效且具备文件保存权限的项目。在 Cloud 上，请先停止项目运行时再保存。项目操作会检查项目、会话和源修订版本。
选择“将 DUV 流程另存为项目文件”，输入新的“项目文档文件名”，例如 duv-flow.alcad-fab-scene.json，然后选择“保存项目文档”。
选择“打开项目 DUV 流程”，选择“项目文档”，然后选择“打开项目文档”。如果草稿有尚未保存的更改，请在打开前选择“用此文件替换当前未保存的草稿。”。
打开或保存项目文件后，选择“将 DUV 流程保存到项目”即可更新该文件。对于新流程，此控件会打开文件名对话框。如需创建另一个文件，请使用“将 DUV 流程另存为项目文件”并指定不同的文件名。
等待保存确认。应用程序会在替换前检查现有文件版本，并读回已保存的内容进行验证。