Executar e salvar um processo DUV vinculado
Conecte as etapas do wafer aos equipamentos da fábrica, execute o segmento DUV e salve o fluxo localmente ou no projeto selecionado. Estas etapas se aplicam ao Cloud 2.1.2.10 e ao Windows 2.1.2.3.
Abrir a bancada de trabalho DUV
No vFactory, selecione Modelos de processo e escolha Conexão do processo DUV.
No Cloud, expanda Editar as entradas do modelo mapeadas em um formulário para alterar a receita do wafer e as entradas dos equipamentos da fábrica. No Windows, expanda a primeira seção Entradas avançadas para acessar esses formulários.
Para editar JSON no Cloud, expanda Editar as entradas do modelo mapeadas como JSON. No Windows, expanda a seção Entradas avançadas inferior que contém Dados de entrada do modelo. Edite o JSON e selecione Aplicar entradas do modelo. Os campos editáveis são wafer, fab, mapping, waferId, lotId e routeId.
Executar e inspecionar o segmento
Selecione Executar segmento DUV para calcular os modelos de wafer e fábrica. Durante a execução, selecione Cancelar segmento DUV para interromper.
Quando Cálculo concluído aparecer, selecione uma etapa em DUV stage mapping para inspecionar seu equipamento, sua programação e seu perfil calculado na cena da fábrica em escala.
Expanda Proveniência da execução do processo para inspecionar a etapa selecionada e as identidades dos motores de wafer e fábrica.
Salvar e abrir arquivos locais
Abra Mais ações > Salvar arquivo do fluxo DUV. Tanto no Cloud quanto no Windows, isso inicia um download chamado duv-flow.alcad-duv-fab.json.
Escolha Mais ações > Abrir arquivo do fluxo DUV e selecione um fluxo JSON salvo. Se o fluxo atual tiver alterações sem uma gravação de arquivo confirmada, escolha Replace DUV flow ou Keep current DUV flow.
Para conectar uma cena em escala, escolha Mais ações > Conectar arquivo de cena em escala e selecione o arquivo JSON da cena.
Salvar e abrir arquivos de projeto
Use o projeto selecionado com uma sessão de arquivos ativa e permissão para salvar seus arquivos. No Cloud, pare o runtime do projeto antes de salvar. As operações do projeto verificam o projeto, a sessão e a revisão da origem.
Selecione Salvar fluxo DUV como arquivo de projeto, insira um novo Nome do arquivo do documento do projeto, como duv-flow.alcad-fab-scene.json, e selecione Salvar documento do projeto.
Selecione Abrir fluxo DUV do projeto, escolha um Documento do projeto e selecione Abrir documento do projeto. Se um rascunho tiver alterações não salvas, antes de abrir, selecione Substituir o rascunho não salvo atual por este arquivo.
Após abrir ou salvar um arquivo de projeto, selecione Salvar fluxo DUV no projeto para atualizar esse arquivo. Para um novo fluxo, esse controle abre a caixa de diálogo de nome de arquivo. Use Salvar fluxo DUV como arquivo de projeto com outro nome de arquivo para criar outro arquivo.
Aguarde a confirmação de gravação. O aplicativo verifica a versão do arquivo existente antes de substituí-lo e lê de volta o conteúdo salvo para verificá-lo.