연결된 DUV 공정 실행하고 저장하기

웨이퍼 단계를 팹 장비에 연결하고 DUV 구간을 실행한 뒤 흐름을 로컬 또는 선택한 프로젝트에 저장합니다. 이 절차는 Cloud 2.1.2.10 및 Windows 2.1.2.3에 적용됩니다.

DUV 작업 공간 열기

vFactory에서 공정 모델 항목을 선택한 다음 DUV 공정 연결 항목을 고르세요.
Cloud에서는 폼에서 연결된 모델 입력 편집 항목을 펼쳐 웨이퍼 레시피와 팹 장비 입력을 바꾸세요. Windows에서는 첫 번째 고급 입력 구역을 펼쳐 이 양식을 사용하세요.
Cloud에서 JSON을 편집하려면 JSON으로 연결된 모델 입력 편집 항목을 펼치세요. Windows에서는 모델 입력 데이터 항목이 있는 아래쪽 고급 입력 구역을 펼치세요. JSON을 편집한 다음 모델 입력 적용 항목을 선택하세요. 편집할 수 있는 필드는 wafer, fab, mapping, waferId, lotId, routeId입니다.

DUV 구간 실행 항목을 선택하여 웨이퍼와 팹 모델을 계산하세요. 실행 중에 멈추려면 DUV 구간 취소 항목을 선택하세요.
계산 완료 표시가 나타나면 DUV 단계 매핑 항목에서 단계를 선택하여 실척 팹 장면에서 해당 장비, 일정, 계산된 분포를 확인하세요.
공정 실행 근거 항목을 펼쳐 선택한 단계와 웨이퍼 및 팹 엔진의 식별 정보를 확인하세요.

더보기 > DUV 흐름 파일 저장 항목을 여세요. Cloud와 Windows 모두 duv-flow.alcad-duv-fab.json이라는 이름으로 다운로드를 시작합니다.
더보기 > DUV 흐름 파일 열기 항목을 고르고 저장된 JSON 흐름을 선택하세요. 현재 흐름에 파일 저장이 확인되지 않은 변경 사항이 있으면 DUV 흐름 바꾸기 또는 현재 DUV 흐름 유지 항목을 고르세요.
실척 장면을 연결하려면 더보기 > 실척 장면 파일 연결 항목을 고르고 해당 장면의 JSON 파일을 선택하세요.

파일 세션이 활성화되어 있고 파일 저장 권한이 있는 선택된 프로젝트를 사용하세요. Cloud에서는 저장하기 전에 프로젝트 런타임을 멈추세요. 프로젝트 작업에서는 프로젝트, 세션, 소스 리비전을 확인합니다.

DUV 흐름을 프로젝트 파일로 저장 항목을 선택하고 프로젝트 문서 파일 이름 항목에 duv-flow.alcad-fab-scene.json과 같은 새 이름을 입력한 뒤 프로젝트 문서 저장 항목을 선택하세요.
프로젝트 DUV 흐름 열기 항목을 선택하고 프로젝트 문서 항목에서 문서를 고른 뒤 프로젝트 문서 열기 항목을 선택하세요. 초안에 저장되지 않은 변경 사항이 있으면 열기 전에 현재 저장되지 않은 초안을 이 파일로 교체합니다. 항목을 선택하세요.
프로젝트 파일을 열거나 저장한 뒤 프로젝트에 DUV 흐름 저장 항목을 선택하여 해당 파일을 갱신하세요. 새 흐름에서는 이 컨트롤이 파일 이름 대화 상자를 엽니다. 다른 파일을 만들려면 DUV 흐름을 프로젝트 파일로 저장 항목을 사용하여 다른 파일 이름을 지정하세요.
저장 확인을 기다리세요. 애플리케이션은 교체하기 전에 기존 파일 버전을 확인하고 저장된 내용을 다시 읽어 검증합니다.