執行並儲存已連結的 DUV 製程
將晶圓步驟連結至晶圓廠設備,執行 DUV 區段,並將流程儲存在本機或所選專案中。這些步驟適用於 Cloud 2.1.2.10 與 Windows 2.1.2.3。
開啟 DUV 工作台
在 vFactory 中選取「製程模型」,再選擇「DUV 製程連結」。
在 Cloud 上,展開「在表單中編輯對應的模型輸入」以變更晶圓配方與晶圓廠設備輸入。在 Windows 上,展開第一個「進階輸入」區段即可使用這些表單。
若要在 Cloud 上編輯 JSON,請展開「以 JSON 編輯對應的模型輸入」。在 Windows 上,展開下方包含「模型輸入資料」的「進階輸入」區段。編輯 JSON 並選取「套用模型輸入」。可編輯的欄位為 wafer、fab、mapping、waferId、lotId 與 routeId。
執行並檢視區段
選取「執行 DUV 區段」以計算晶圓與晶圓廠模型。執行期間可選取「取消 DUV 區段」以停止執行。
「計算完成」出現時,在「DUV stage mapping」中選取一個步驟,以在實際比例的晶圓廠場景中檢視其設備、排程及已計算的剖面。
展開「製程執行來源」,檢視所選步驟,以及晶圓與晶圓廠引擎的識別資訊。
儲存並開啟本機檔案
開啟「更多操作」>「儲存 DUV 流程檔案」。在 Cloud 與 Windows 上,此操作都會開始下載名為 duv-flow.alcad-duv-fab.json 的檔案。
選擇「更多操作」>「開啟 DUV 流程檔案」,並選取已儲存的 JSON 流程。如果目前流程有尚未確認已儲存至檔案的變更,請選擇「Replace DUV flow」或「Keep current DUV flow」。
若要連結實際比例場景,請選擇「更多操作」>「連結實際比例場景檔案」,並選取其場景 JSON 檔案。
儲存並開啟專案檔案
使用已選取、檔案工作階段有效且具備檔案儲存權限的專案。在 Cloud 上,請先停止專案執行階段再儲存。專案操作會檢查專案、工作階段與來源修訂版本。
選取「將 DUV 流程另存為專案檔案」,輸入新的「專案文件檔名」,例如 duv-flow.alcad-fab-scene.json,再選取「儲存專案文件」。
選取「開啟專案 DUV 流程」,選擇「專案文件」,再選取「開啟專案文件」。若草稿有尚未儲存的變更,請在開啟前選取「以此檔案取代目前未儲存的草稿。」。
開啟或儲存專案檔案後,選取「將 DUV 流程儲存至專案」即可更新該檔案。對於新流程,此控制項會開啟檔案名稱對話方塊。若要建立另一個檔案,請使用「將 DUV 流程另存為專案檔案」並指定不同的檔案名稱。
等待儲存確認。應用程式會在取代前檢查現有檔案版本,並讀回已儲存的內容進行驗證。