連携した DUV プロセスを実行して保存する

ウェーハ工程をファブ装置に接続し、DUV 区間を実行して、フローをローカルまたは選択したプロジェクトに保存します。この手順は Cloud 2.1.2.10 および Windows 2.1.2.3 に適用されます。

DUV ワークベンチを開く

vFactory で「工程モデル」を選択し、「DUV 工程連携」を選びます。
Cloud では、「フォームで連携モデルの入力を編集」を展開してウェーハレシピとファブ装置の入力を変更します。Windows では、最初の「詳細入力」セクションを展開すると、これらのフォームが表示されます。
Cloud で JSON を編集するには、「JSONで連携モデルの入力を編集」を展開します。Windows では、「モデル入力データ」を含む下側の「詳細入力」セクションを展開します。JSON を編集して「モデル入力を適用」を選択します。編集できるフィールドは wafer、fab、mapping、waferId、lotId、routeId です。

「DUV 区間を実行」を選択して、ウェーハモデルとファブモデルを計算します。実行中に停止するには、「DUV 区間をキャンセル」を選択します。
「計算完了」が表示されたら、「DUV stage mapping」で工程を選択し、実寸のファブシーンで装置、スケジュール、計算済みプロファイルを確認します。
「工程実行の来歴」を展開し、選択した工程と、ウェーハおよびファブのエンジンの識別情報を確認します。

「その他の操作」>「DUV フローファイルを保存」を開きます。Cloud と Windows のどちらでも、duv-flow.alcad-duv-fab.json という名前でダウンロードが開始されます。
「その他の操作」>「DUV フローファイルを開く」を選択し、保存済みの JSON フローを選びます。現在のフローに、ファイル保存が確認されていない変更がある場合は、「Replace DUV flow」または「Keep current DUV flow」を選択します。
実寸シーンを接続するには、「その他の操作」>「実寸シーンファイルを接続」を選択し、シーンの JSON ファイルを選びます。

ファイルセッションが有効で、ファイルを保存する権限がある、選択済みのプロジェクトを使用します。Cloud では、保存前にプロジェクトランタイムを停止してください。プロジェクト操作では、プロジェクト、セッション、ソースリビジョンが確認されます。

「DUVフローをプロジェクトファイルとして保存」を選択し、「プロジェクト文書のファイル名」に duv-flow.alcad-fab-scene.json などの新しい名前を入力して「プロジェクト文書を保存」を選択します。
「プロジェクトのDUVフローを開く」を選択し、「プロジェクト文書」を選んで「プロジェクト文書を開く」を選択します。下書きに未保存の変更がある場合は、開く前に「現在の未保存の下書きをこのファイルで置き換えます。」を選択します。
プロジェクトファイルを開くか保存した後は、「DUVフローをプロジェクトに保存」を選択してそのファイルを更新します。新しいフローの場合、この操作でファイル名ダイアログが開きます。別のファイルを作成するには、「DUVフローをプロジェクトファイルとして保存」で別のファイル名を指定します。
保存の確認が表示されるまで待ちます。アプリケーションは置き換え前に既存ファイルのバージョンを確認し、保存した内容を読み戻して検証します。