EUV 광학계와 광자 수지 계산하기
Cloud 2.1.2.10 또는 Windows 2.1.2.3의 EUV 계산에서 모델 입력값과 결과를 비교합니다.
계산 실행하기
vFactory에서 EUV 계산을 열고 광원 프리셋을 선택하세요.
Mo/Si 다층막 + Ru 캡, 선량 및 스캔 가정, 광자 계산 가정을 검토하세요. 각 값은 표시된 범위 안에 입력하세요.
EUV 계산하기를 선택하세요.
다층막 입력은 반사율 모델을 정의합니다. 계산 후 평면 광학 응답은 s 편광과 p 편광의 반사율을 파장에 대해 표시합니다.
결과 읽기
광 수지에는 단계별 출력, 선량, 스캔 속도와 시간당 웨이퍼 수가 표시됩니다.
평면 광학 응답에는 파장과 각도에 따른 s·p 반사율과 13.5 nm에서의 R / T / A가 표시됩니다. 정확한 값은 파장별 데이터 표 또는 각도별 데이터 표를 여세요.
광자 수지 및 잡음에는 광자 에너지, 평균 개수와 이상적인 푸아송 분산이 표시됩니다. 결과와 함께 출처 및 가정을 검토하세요.
광자 수지 및 잡음은 13.5 nm에서 입사 및 흡수 광자 수와 이상적인 푸아송 분산을 비교합니다.
이 수치는 가정에 따른 모델 출력이며 측정한 장비 처리량이나 실제 팹의 예측값이 아닙니다. 파장 스윕은 13.5 nm의 광학 지수를 고정하며, 이상적인 푸아송 통계는 레지스트 결함이나 수율을 예측하지 않습니다.