Calcular um balanço de óptica e fótons EUV

Compare as entradas e os resultados do modelo no cálculo EUV do Cloud 2.1.2.10 ou Windows 2.1.2.3.

Executar o cálculo

Abra Cálculo EUV no vFactory e escolha uma predefinição de fonte.

Revise Multicamada Mo/Si + camada protetora de Ru, Premissas de dose e varredura e Premissas de fótons. Mantenha cada valor no intervalo exibido.

Selecione Calcular EUV.

Entradas de Multicamada Mo/Si + camada protetora de Ru (períodos Mo/Si, espessura de Mo, espessura de Si e espessura da camada protetora de Ru, incidência em relação à normal em 0°, reflexões do iluminador, da máscara e de projeção), as primeiras entradas de Premissas de dose e varredura, os resultados de dose e varredura e um gráfico de Resposta óptica planar da refletância em função do comprimento de onda para polarização s e polarização p.

As entradas da multicamada definem o modelo de refletividade. Após um cálculo, Resposta óptica planar traça a refletância da polarização s e da polarização p em função do comprimento de onda.

Ler os resultados

Balanço de luz mostra a potência por estágio, a dose, a velocidade de varredura e os wafers por hora.

Resposta óptica planar mostra a refletância s e p por comprimento de onda e ângulo, e R / T / A a 13.5 nm. Abra Tabela de dados de comprimento de onda ou Tabela de dados de ângulo para ver os valores exatos.

Balanço de fótons e ruído mostra a energia dos fótons, as contagens médias e a variância de Poisson ideal. Revise Fontes e premissas junto com os resultados.

Resultados depois de Calcular EUV: a tabela R / T / A a 13.5 nm com a mesma refletância, transmitância e absorção para polarização s e polarização p, e a tabela Balanço de fótons e ruído para 20 mJ/cm² sobre 100 nm² com fração absorvida de 0.5, listando a energia dos fótons, as contagens médias de fótons incidentes e absorvidos e sua variância de Poisson ideal.

Balanço de fótons e ruído compara as contagens de fótons incidentes e absorvidos com sua variância de Poisson ideal a 13.5 nm.

vFactory

São saídas de modelo baseadas em premissas, não produtividade medida de equipamentos ou previsões para uma fábrica real. A varredura de comprimento de onda mantém fixos os índices ópticos de 13.5 nm; a estatística de Poisson ideal não prevê defeitos do resiste nem rendimento.