选择参考晶圆厂路径和批次数量

在 vFactory 中运行设计之前,检查路径、批次数、每批晶圆数和投放时间。

选择输入

从产品菜单中选择 vFactory → 晶圆工艺与晶圆厂,然后选择 从设计到晶圆,并导入设计源数据。在具备所需功能的 Cloud 项目中,您也可以使用 发送到 vFactory 打开已投影的 GDS 结构。

  1. 在 Cloud 中,在 参考晶圆厂路径 中选择 logic-a 或 logic-b。

  2. 在 几何、良率与批次投料 下输入 批次数量 和 每批次晶圆数。两个值都必须是整数:1–50 批,每批 1–1,000 片晶圆。

  3. 将 投料间隔 (s) 设置为批次投放之间的时间,单位为秒。

  4. 检查其他数值输入,然后选择 计算预览 查看几何和良率估计。

  5. 输入准备好后,选择 运行从设计到晶圆仿真。

已展开“参考晶圆厂路径”列表的“从设计到晶圆”选项卡。列表中有 logic-a 和 logic-b,其中 logic-a 已选中。在“几何、良率与批次投料”下,“批次数量”为 1 (≥ 1 · ≤ 50 · 整数),“每批次晶圆数”为 25 (≥ 1 · ≤ 1000 · 整数),“投料间隔 (s)”为 60。一条消息提示尚无设计源数据。

在“参考晶圆厂路径”中选择 logic-a 或 logic-b,然后检查“批次数量”、“每批次晶圆数”和“投料间隔 (s)”。每个字段下方会显示允许的范围。

Windows 2.1.2.3 使用 logic-a 路径。在 几何、良率与批次投料 中设置批次数量和投放时间。

设置投放时间

第一批在仿真时间为零时投放。之后每一批都在前一批投放后,经过一个间隔再投放。如果有三批且间隔为 60 秒,投放时间就是 0、60 和 120 秒。每批使用相同的路径和每批晶圆数。

间隔可以是 0–31,536,000 秒。最后一批必须在仿真开始后的 31,536,000 秒内投放。间隔为零时,所有批次都在时间为零时投放。

检查结果

计算预览 会计算几何和良率估计。另一项独立操作 运行从设计到晶圆仿真 会运行参考晶圆厂,并显示 批次完成与交期。

检查每批的晶圆数、状态、周期时间、完成时间和交付时间。在 Cloud 中,结果还会显示 参考晶圆厂路径。已完成晶圆 统计已完成批次中的晶圆数。

使用 vFactory:探索晶圆厂,跟随设计到晶圆的流程

参考晶圆厂使用合成的工艺假设值。结果为模型估计值。