参照ファブのルートとロット数量を選ぶ

vFactory で設計を実行する前に、ルート、ロット数、ロットあたりのウェーハ数、リリース時刻を確認します。

入力を選ぶ

製品メニューから vFactory → ウェーハ工程・ファブ、次に 設計からウェーハへ を選び、設計ソースをインポートします。対応する Cloud プロジェクトでは、vFactory に送信 で投影済みの GDS ストラクチャを開くこともできます。

Cloud では、参照ファブのルート で logic-a または logic-b を選択します。
形状、歩留まり、ロット投入 で ロット数 と ロット当たりのウェーハ数 を入力します。どちらも整数で指定します。ロット数は 1–50、ロットあたりのウェーハ数は 1–1,000 です。
投入間隔 (s) にロットのリリース間隔を秒単位で設定します。
ほかの数値入力を確認し、プレビューを計算 を選択して形状と歩留まり推定値を確認します。
入力の準備ができたら 設計からウェーハへのシミュレーションを実行 を選択します。

「参照ファブのルート」で logic-a または logic-b を選び、「ロット数」、「ロット当たりのウェーハ数」、「投入間隔 (s)」を確認します。入力できる範囲は各フィールドの下に表示されます。

Windows 2.1.2.3 は logic-a ルートを使用します。形状、歩留まり、ロット投入 でロット数量とリリース時刻を設定します。

最初のロットはシミュレーション時刻 0 にリリースされます。以降の各ロットは、前のロットから指定の間隔を空けてリリースされます。3 ロットで間隔が 60 秒の場合、リリース時刻は 0、60、120 秒です。すべてのロットが同じルートとロットあたりのウェーハ数を使用します。

間隔は 0–31,536,000 秒に設定できます。最後のロットは、シミュレーション開始から 31,536,000 秒以内にリリースされる必要があります。間隔を 0 にすると、すべてのロットが時刻 0 にリリースされます。

プレビューを計算 は形状と歩留まり推定値を計算します。別の操作である 設計からウェーハへのシミュレーションを実行 は参照ファブを実行し、ロット完了と納期 を表示します。

各ロットのウェーハ数、状態、サイクル時間、完了時刻、納期を確認します。Cloud では、結果に 参照ファブのルート も表示されます。完了ウェーハ数 は完了したロットのウェーハを数えます。

参照ファブは合成された工程の仮定値を使用します。結果はモデルによる推定値です。