EUV 構造モデルと計算を理解する

vFactory の EUV 構造ビューと計算ツールは、それぞれ異なる問いに答えます。どちらも Cloud と Windows アプリで利用できます。

vFactory の使い方：ファブを見学し、設計からウェーハまでをたどる

構造モデルが示すもの

参照ファブ の内部ビューには、学習用に再構成したスキャナーが表示されます。光路をたどり、部品を識別するのに役立ちます。

モデルの形状と部品配置は、公開情報と仮定に基づいています。内部ビューで 出典 を選択して参考資料を確認します。

光学バジェットが計算するもの

EUV 計算 は、指定した光源、多層膜、露光量、スキャン、光子の入力値を使用します。光路上のパワー、平面光学応答、光子数と理想的なポアソン分散を計算します。

入力値を変更すると前の結果が消去されます。新しい入力値の結果を得るには、もう一度計算します。

結果と併せて仮定を確認する

Cloud では 出典と仮定 を展開して、各入力値の出典や仮定を確認します。Windows では、各入力値の範囲の横にあるタグを確認します。計算結果を比較するときは、その入力値も一緒に記録しておきます。

構造ビューはモデルの配置を説明し、バジェットは入力値に対する計算値を示します。それぞれの仮定と併せて読み取ってください。

構造モデルは再構成されたもので、計算結果は指定した仮定に依存します。実際のスキャナーやファブの測定値ではありません。