了解 EUV 结构模型与计算

vFactory 的 EUV 结构视图与计算工具回答不同的问题。两者均可在 Cloud 与 Windows 应用中使用。

使用 vFactory：探索晶圆厂，跟随设计到晶圆的流程

结构模型呈现的内容

参考晶圆厂 的内部视图呈现教学用的扫描机重建模型，可帮助您沿光路查看并识别组件。

模型的几何形状与组件布局基于公开信息与假设。在内部视图中选择 来源，即可阅读参考资料。

光学预算计算的内容

EUV 计算 使用您提供的光源、多层膜、剂量、扫描与光子输入值，计算光路上的功率、平面光学响应，以及光子数与理想泊松方差。

更改输入值会清除先前的结果。请重新计算，以获取新输入值的结果。

结合假设阅读结果

在 Cloud 上，展开 来源和假设，查看各输入值的来源或假设。在 Windows 上，查看各输入值范围旁的标签。比较计算结果时，请一并保留输入值。

结构视图说明模型的布局；预算则提供对应输入值的计算数值。阅读时，请分别参照各自的假设。

结构模型是重建模型，计算结果取决于所提供的假设；两者均非真实扫描机或晶圆厂的测量结果。