Entenda o modelo de estrutura EUV e os cálculos

A visualização de estrutura EUV e a calculadora do vFactory respondem a perguntas diferentes. Ambas estão disponíveis no Cloud e no aplicativo para Windows.

Usar vFactory: explorar uma fábrica e acompanhar um projeto até o wafer

O que o modelo de estrutura mostra

A visualização interna em Fábrica de referência mostra uma reconstrução didática de um scanner. Ela ajuda você a seguir o caminho óptico e identificar componentes.

A geometria do modelo e a disposição dos componentes se baseiam em informações públicas e premissas. Escolha Fontes na visualização interna para ler o material de referência.

O que o balanço óptico calcula

Cálculo EUV usa as entradas de fonte, multicamadas, dose, varredura e fótons que você fornece. Calcula a potência ao longo do caminho óptico, a resposta óptica planar e as contagens de fótons com variância de Poisson ideal.

Alterar uma entrada apaga o resultado anterior. Calcule novamente para obter um resultado com as novas entradas.

Leia as premissas junto com o resultado

No Cloud, expanda Fontes e premissas para conferir a fonte ou a premissa de cada entrada. No Windows, confira a etiqueta ao lado do intervalo de cada entrada. Guarde os valores de entrada junto com qualquer comparação que você fizer entre cálculos.

Uma visualização estrutural explica a disposição do modelo; um balanço fornece valores calculados para suas entradas. Interprete cada um com suas próprias premissas.

O modelo de estrutura é uma reconstrução, e os resultados dos cálculos dependem das premissas fornecidas; não são medições de um scanner ou de uma fábrica real.