vFactory에서 첫 EUV 광 수지 계산하기

광원과 스캔 입력을 검토하고 EUV 광 수지를 계산해 광학 및 광자 결과를 읽습니다.

EUV 계산기는 Cloud 또는 Windows 앱의 vFactory에서 로컬로 실행됩니다. 시작하기 전에 아래 안내에 따라 vFactory를 여세요.

입력 검토하기

EUV 계산 탭을 선택하세요.
첫 계산에서는 초기 광원 프리셋과 입력값을 유지하세요.
선량 및 스캔 가정과 광자 계산 가정을 검토하세요. Cloud에서는 출처 및 가정을 펼쳐 각 입력의 출처나 가정을 확인하세요. Windows에서는 각 입력 범위 옆의 태그를 확인하세요.

초기 RIKEN 2026 · 단일 빔 프리셋입니다. 출처 및 가정은 각 입력이 RIKEN 2026 실험에서 왔는지 또는 가정인지 보여 줍니다.

EUV 계산하기를 선택하세요.
완료 메시지(EUV 계산을 완료했습니다.)를 확인한 뒤 광 수지에서 광학 경로를 따라 변하는 출력과 선량 및 시간 결과를 읽으세요.
평면 광학 응답에서 파장과 각도에 따른 반사율을 읽으세요. 광자 수지 및 잡음에서는 광자 수와 이상적인 푸아송 분산을 확인하세요.

EUV 계산하기 이후 광 수지는 광학 경로 각 단계의 출력을 구동 레이저부터 웨이퍼까지 보여 줍니다.

입력을 바꾸면 이전 결과가 지워집니다. 필드에 표시된 범위 안의 값을 입력한 뒤 EUV 계산하기를 다시 선택하세요.

출력값은 입력과 가정에 따른 계산 결과이며 스캐너 처리량, 스펙트럼 또는 생산 데이터를 측정한 값이 아닙니다.