在 vFactory 中首次计算 EUV 预算

EUV 计算工具在 Cloud 或 Windows 应用的 vFactory 中于本地运行。开始前，请按照下方指南打开 vFactory。

在 vFactory 中打开参考晶圆厂

检查输入值

1. 选择 EUV 计算 选项卡。

2. 首次计算时，保留初始光源预设与输入值。

3. 检查 剂量和扫描假设 与 光子计算假设。在 Cloud 上，展开 来源和假设，查看各输入值的来源或假设。在 Windows 上，查看各输入值范围旁的标签。

初始的 RIKEN 2026 · 单光束预设。来源和假设显示每个输入来自 RIKEN 2026 实验还是属于假设。

计算预算

1. 选择 计算 EUV。

2. 出现 EUV 计算已完成。 时，查看 光收支，了解光路上的功率，以及剂量与时间结果。

3. 查看 平面光学响应，了解不同波长与角度的反射率。查看 光子收支和噪声，了解光子数与理想泊松方差。

计算 EUV 之后，光收支显示光路上各阶段的功率，从驱动激光到晶圆。

更改输入值

更改输入值会清除先前的结果。在字段显示的范围内输入数值，然后再次选择 计算 EUV。

输出是根据提供的输入值与假设计算而得，并非扫描机吞吐量、光谱或生产数据的实测结果。