在 vFactory 中首次計算 EUV 預算

EUV 計算工具在 Cloud 或 Windows 應用程式的 vFactory 中於本機執行。開始前，請依照下方指南開啟 vFactory。

在 vFactory 中開啟參考晶圓廠

檢查輸入值

1. 選取 EUV 計算 分頁。

2. 首次計算時，保留初始光源預設組態與輸入值。

3. 檢查 劑量與掃描假設 與 光子計算假設。在 Cloud 上，展開 來源與假設，查看各輸入值的來源或假設。在 Windows 上，查看各輸入值範圍旁的標籤。

初始的 RIKEN 2026 · 單光束預設組態。來源與假設顯示每個輸入來自 RIKEN 2026 實驗或屬於假設。

計算預算

1. 選擇 計算 EUV。

2. 出現 EUV 計算已完成。 時，查看 光收支，瞭解光路上的功率，以及劑量與時間結果。

3. 查看 平面光學響應，瞭解不同波長與角度的反射率。查看 光子收支與雜訊，瞭解光子數與理想卜瓦松變異數。

計算 EUV 之後，光收支顯示光路上各階段的功率，從驅動雷射到晶圓。

變更輸入值

變更輸入值會清除先前的結果。在欄位顯示的範圍內輸入數值，然後再次選擇 計算 EUV。

輸出是根據提供的輸入值與假設計算而得，並非掃描機產能、光譜或生產資料的實測結果。