vFactory で初めて EUV バジェットを計算する

EUV 計算ツールは、Cloud または Windows アプリの vFactory 内でローカルに動作します。始める前に、下記のガイドに従って vFactory を開いてください。

vFactory で参照ファブを開く

入力値を確認する

1. EUV 計算 タブを選択します。

2. 初回の計算では、初期の光源プリセットと入力値をそのまま使います。

3. 露光量と走査の仮定 と 光子計算の仮定 を確認します。Cloud では 出典と仮定 を展開して、各入力値の出典や仮定を確認します。Windows では、各入力値の範囲の横にあるタグを確認します。

初期の RIKEN 2026 · 単一ビームプリセットです。出典と仮定は、各入力が RIKEN 2026 実験によるものか仮定かを示します。

バジェットを計算する

1. EUV を計算 を選択します。

2. EUV 計算が完了しました。 が表示されたら、光収支 で光路上のパワーと、露光量およびタイミングの結果を確認します。

3. 平面光学応答 で波長と角度ごとの反射率を確認します。光子収支と雑音 で光子数と理想的なポアソン分散を確認します。

EUV を計算した後、光収支は光路上の各段階の出力を、駆動レーザーからウェーハまで示します。

入力値を変更する

入力値を変更すると前の結果が消去されます。各フィールドに表示された範囲内の値を入力し、もう一度 EUV を計算 を選択します。

出力は入力値と仮定に基づく計算結果であり、スキャナーのスループット、スペクトル、生産データの実測値ではありません。