Calcule seu primeiro balanço EUV no vFactory

A calculadora EUV é executada localmente no vFactory no Cloud ou no aplicativo para Windows. Antes de começar, abra o vFactory seguindo o guia abaixo.

Abra a fábrica de referência no vFactory

Revise as entradas

1. Selecione a guia Cálculo EUV.

2. Para um primeiro cálculo, mantenha a predefinição inicial da fonte e os valores de entrada.

3. Revise Premissas de dose e varredura e Premissas de fótons. No Cloud, expanda Fontes e premissas para conferir a fonte ou a premissa de cada entrada. No Windows, confira a etiqueta ao lado do intervalo de cada entrada.

A predefinição inicial RIKEN 2026 · Feixe único. Fontes e premissas mostra se cada entrada vem do experimento RIKEN 2026 ou é uma premissa.

Calcule o balanço

1. Escolha Calcular EUV.

2. Quando Cálculo EUV concluído. aparecer, leia Balanço de luz para consultar a potência ao longo do caminho óptico e os resultados de dose e tempo.

3. Leia Resposta óptica planar para consultar a refletância por comprimento de onda e ângulo. Leia Balanço de fótons e ruído para consultar as contagens de fótons e a variância de Poisson ideal.

Depois de Calcular EUV, Balanço de luz mostra a potência em cada etapa do caminho óptico, do laser de excitação até o wafer.

Altere uma entrada

Alterar uma entrada apaga o resultado anterior. Insira valores dentro dos intervalos exibidos pelos campos e escolha Calcular EUV novamente.

As saídas são cálculos feitos a partir das entradas e premissas fornecidas, não medições da produtividade do scanner, espectros ou dados de produção.